【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种晶圆误差分析方法。本专利技术还涉及一种为了该目的的计算机程序和装置。
技术介绍
1、从现有技术中已知：能够自动化地识别晶圆上的缺陷。在此，例如可以从晶圆的光学图像中自动化地检测生产缺陷或者污染。
技术实现思路
1、本专利技术的主题是一种具有权利要求1的特征的方法、一种具有权利要求9的特征的计算机程序以及一种具有权利要求10的特征的装置。本专利技术的其它特征和细节从相应的从属权利要求、说明书和附图中得出。在此，与按照本专利技术的方法相关联地描述的特征和细节当然也与按照本专利技术的计算机程序以及按照本专利技术的装置相关联地适用，而且分别反之亦然，使得关于对各个专利技术方面的公开内容始终相互参考或可以相互参考。
2、本专利技术的主题尤其是一种晶圆误差分析方法，优选地在晶圆生产之后和/或在晶圆生产之内的晶圆误差分析方法。在此，可以执行以下步骤，优选地自动化地和/或重复地和/或依次执行以下步骤：
3、-确定至少一个并且尤其是多个晶圆图，该晶圆图或这些晶圆图包...
【技术保护点】
1.一种用于在晶圆(30)中的误差分析的方法(100)，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法(100)，
3.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
4.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
5.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
6.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
7.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
8.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
9.一种计算机程序(20)，所述计算机程序包...
【技术特征摘要】
1.一种用于在晶圆(30)中的误差分析的方法(100)，所述方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的方法(100)，
3.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
4.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
5.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
6.根据上述权利要求中任一项所述的方法(100)，
7.根据上述权...
【专利技术属性】
技术研发人员：W·斯米尔诺夫，R·奥格克，M·雅努斯，T·施尼茨勒，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：
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