检查设备制造技术

公开了检查设备。检查设备包括：光源，该光源辐射光束；第一透镜，该第一透镜设置在检查对象与光源之间，具有在第一方向上穿过第一透镜限定的第一开口；第二透镜，该第二透镜设置在检查对象与第一透镜之间，具有在第一方向上穿过第二透镜限定以与第一开口重叠的第二开口；检查单元，该检查单元设置成与检查对象间隔开并且包括设置成在平面上与第一开口和第二开口重叠的入射部分，第一透镜介于检查单元与检查对象之间；以及驱动单元，该驱动单元调整第一透镜与检查对象之间的距离或第二透镜与检查对象之间的距离。

【技术实现步骤摘要】

本文中的本公开涉及检查设备，并且更具体地涉及对检查对象中的缺陷具有提高的可见性的检查设备。

技术介绍

1、可使用各种检查设备来检查显示装置。其中，光学检查设备可通过使用相机来检查显示装置。光学检查设备可针对诸如异物或膜残留物的缺陷来容易地检查显示装置。

技术实现思路

1、本公开提供具有提高的缺陷确定可靠性的检查设备。

2、本专利技术的实施方式提供了检查设备，包括：光源，该光源设置成在第一方向上与检查对象间隔开，其中，光源辐射光束；第一透镜，该第一透镜设置在检查对象与光源之间，其中，第一透镜提供在第一方向上穿过第一透镜限定的第一开口；第二透镜，该第二透镜设置在检查对象与第一透镜之间，其中，第二透镜提供在第一方向上穿过第二透镜限定以与第一开口重叠的第二开口；检查单元，该检查单元设置成与检查对象间隔开，第一透镜介于检查单元与检查对象之间，其中，检查单元包括设置成在平面上与第一开口和第二开口重叠的入射部分；以及驱动单元，该驱动单元调整第一透镜与检查对象之间的第一距离或第二透镜与检查对象之间的第二距离。...

【技术保护点】

1.一种检查设备，包括：

2.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 从所述第一透镜和所述第二透镜中选择的至少一个包括凸透镜。

3.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 从所述第一透镜和所述第二透镜中选择的至少一个包括非球面透镜。

4.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 从所述第一透镜和所述第二透镜中选择的至少一个包括菲涅尔透镜。

5.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 从所述第一透镜和所述第二透镜中选择的至少一个包括：

6.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 所述第一开口的半径小于或等于所述第二开口的半径。...

【技术特征摘要】

1.一种检查设备，包括：

2.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 从所述第一透镜和所述第二透镜中选择的至少一个包括凸透镜。

3.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 从所述第一透镜和所述第二透镜中选择的至少一个包括非球面透镜。

4.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 从所述第一透镜和所述第二透镜中选择的至少一个包括菲涅尔透镜。

5.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 从所述第一透镜和所述第二透镜中选择的至少一个包括：

6.根据权利要求1所述的检查设备， 其中， 所述第一开口的半径小于或等于所述第二开口的半径。

7.根据权利要求1所述的检查设备，其中，

8.根据权利要求7所述的检查设备，其中，

9.根据权利要求7所述的检查设备， 其中， 所述第二分离距离大于所述第一分离距离。

10.根据权利要求7所述的检查设备， 其中，所述多个第一光源和所述多个第二光源设...

【专利技术属性】
技术研发人员：三宫暁史，韩世光，高慧兰，孙在珉，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：