波前检测装置制造方法及图纸

本技术提供了一种波前检测装置。波前检测装置包括：干涉仪结构用于发射检测光；镜头承靠结构，镜头承靠结构位于干涉仪结构的出光侧，镜头承靠结构包括中心通孔和多个限位件，多个限位件绕中心通孔的周向间隔设置在镜头承靠结构朝向干涉仪结构的一侧表面上，以在多个限位件之间形成容置区域，容置区域用于放置待测镜头，限位件的至少一部分朝向容置区域可伸缩地设置，以使得限位件的可伸缩部分能够将待测镜头限位在容置区域处；空镜结构，空镜结构位于镜头承靠结构远离干涉仪结构的一侧，空镜结构朝向镜头承靠结构的一侧至少包括非球面反射面，非球面反射面与中心通孔对应。本技术解决了现有技术中的镜头检测存在检测信息少的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光学检测设备，具体而言，涉及一种波前检测装置。

技术介绍

1、镜头在组装前，需要对镜头的多个透镜进行检测，透镜的检测通常采用三坐标、ua3p、luphscan等设备进行轮廓检测，当透镜的面形满足设计要求既认为该透镜可以进行镜头组装，但单透镜其他信息无法进行检测，更无法知道单透镜对整个光学系统的影响，如透镜镀膜过程中温度对镜头内部应力的影响，透镜镀膜的微观结构对折射率的影响等。

2、镜头在组装过程中大多采用一体式组装，每透镜在组装过程中均会存在一定偏差，如偏心、倾斜、面形变化和间隙变化等，部分参数可以通过间隙测量仪进行检测，但更多的组装后镜头内部的变化是无法检测的，仅能通过镜头完全组装完成后进行mtf等像质检测才可评价镜头的ok与ng。同时，未组装完成的非完整镜头的检测存在难点，无法获得前几片透镜的更多信息。

3、也就是说，现有技术中的镜头检测存在检测信息少的问题。

技术实现思路

1、本技术的主要目的在于提供一种波前检测装置，以解决现有技术中的镜头检测存在检测信息少的问题。...

【技术保护点】

1.一种波前检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述干涉仪结构包括干涉仪主机(11)和位于所述干涉仪主机(11)出光侧的干涉仪标准镜(12)。

3.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述限位件(22)包括：

4.根据权利要求3所述的波前检测装置，其特征在于，所述活动部由球体(222)和柱塞(223)组成，所述球体(222)与所述柱塞(223)连接且所述球体(222)位于所述柱塞(223)朝向所述中心通孔(21)的一侧。

5.根据权利要求3所述的波前检测装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧...

【技术特征摘要】

1.一种波前检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述干涉仪结构包括干涉仪主机(11)和位于所述干涉仪主机(11)出光侧的干涉仪标准镜(12)。

3.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述限位件(22)包括：

4.根据权利要求3所述的波前检测装置，其特征在于，所述活动部由球体(222)和柱塞(223)组成，所述球体(222)与所述柱塞(223)连接且所述球体(222)位于所述柱塞(223)朝向所述中心通孔(21)的一侧。

5.根据权利要求3所述的波前检测装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧，所述弹簧抵接在所述活动部远离所述中心通孔(21)的一侧表面与所述活动槽的槽底面之间。

6.根据权利要求1所述的波前检测装置，其特征在于，所述镜头承靠结构(20)上还设置有玻璃片(23)，所述玻璃片(23)位于所述镜头承靠结构(20)朝向所述干涉仪结构的一侧表面上。

7.根据权利要求6所述的波前检测装置，其特征在于，所述玻璃片(23)与所述镜头承靠结构(20)的表面胶接，所述镜头承靠结...

【专利技术属性】
技术研发人员：张健，刘泉，张晓彤，
申请(专利权)人：浙江舜宇光学有限公司，
类型：新型
国别省市：