【技术实现步骤摘要】
本技术涉及层流传感器校准，尤其是涉及一种层流传感器的双向活塞校准装置。
技术介绍
1、气体层流流量传感器是指利用层流条件下，流速与流体经过传感器产生的差压成正比的流体力学原理而制成的流量测量装置。气体层流流量计是微小气体流量测量的一种非常重要的仪器，因具有无可动部件、量程比宽、测量准确度高、响应速度快等特点，被广泛应用在半导体加工、汽车电子、化工制药和医疗等行业中。当前，对层流传感器的校准主要是采用活塞式流量标准装置，然而传统活塞受结构限制，无法双向计量，检测的流量越大，活塞缸体直径越大，导致装置整体体积、重量均较大，难以移动。
技术实现思路
1、本技术提供一种层流传感器的双向活塞校准装置，用以解决现有的活塞式流量标准装置体积大以及只能单向计量的问题。
2、本技术提供一种层流传感器的双向活塞校准装置，包括两个缸体，两个所述缸体之间通过第一支管相连通，所述第一支管上设有出气口，所述缸体与出气口之间设有第一阀门；两个所述缸体之间还通过第二支管相连通，所述第二支管上设有进气口，所述缸...
【技术保护点】
1.一种层流传感器的双向活塞校准装置，其特征在于，包括两个缸体，两个所述缸体之间通过第一支管相连通，所述第一支管上设有出气口，所述缸体与出气口之间设有第一阀门；两个所述缸体之间还通过第二支管相连通，所述第二支管上设有进气口，所述缸体与进气口之间设有第二阀门，所述缸体内设有柱塞，两个所述柱塞之间设有驱动柱塞往复移动的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的层流传感器的双向活塞校准装置，其特征在于，所述驱动机构包括：连轴、连接件和直线电机，所述连轴的两端分别与两个柱塞固定，所述直线电机通过连接件与连轴固定。
3.根据权利要求1所述的层流传感器的双向活塞...
【技术特征摘要】
1.一种层流传感器的双向活塞校准装置，其特征在于，包括两个缸体，两个所述缸体之间通过第一支管相连通，所述第一支管上设有出气口，所述缸体与出气口之间设有第一阀门；两个所述缸体之间还通过第二支管相连通，所述第二支管上设有进气口，所述缸体与进气口之间设有第二阀门，所述缸体内设有柱塞，两个所述柱塞之间设有驱动柱塞往复移动的驱动机构。
2.根据权利要求1所述的层流传感器的双向活塞校准装置，其特征在于，所述驱动机构包括：连轴、连接件和直线电机，所述连轴的两端分别与两个柱塞固定，所述直线电机通过连接件与连轴固定。
3.根据权利要求1所述的层流传感器的双向活塞校准装置，其特征在于，所述柱塞与缸体之间设有密封圈。
4.根据权利要求3所述的层流传感器的双向活塞校准装置，其特征在于，所述缸体靠近连轴的一端固定有密封套，所述密封圈固定在密封套内。
5....
【专利技术属性】
技术研发人员：徐旷宇，朱宁，周艳，尹鑫昊，陈炜骄，李宁，
申请(专利权)人：湖南省计量检测研究院，
类型：新型
国别省市：
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