一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装制造技术

本发明专利技术公开了一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装，本发明专利技术包括固定框、电机安装底板和工装顶板，工装顶板和电机安装底板分别安装于固定框的上、下表面，电机安装底板上螺钉固定有升降电机，升降电机输出端设置螺杆，螺杆螺纹连接有螺套，螺套外壁固定连接有支撑板，支撑板上螺钉固定工装中间衬底，工装中间衬底下表面周边螺钉固定有防漏液挡板，固定框内壁螺钉固定溶液收集托盘，工装顶板上开设有衬底槽。本发明专利技术兼容性更高，通过整体自动化方案实现绒面硅片同批次不同厚度的情况实现高精度涂布的工艺要求；通过plc主机控制工装内部电机的运行，顶部激光用于校准工装和硅片之间水平位置，底部电机进行自动实时补偿，自动化程度更加高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于涂布，特别是涉及一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装。

技术介绍

1、现有的同类产品基于样品台原有的基础上，一般增加一片钢制垫片，厚度同硅片一致，来保证硅片固定位置及涂布平整稳定性。

2、现有同类产品的结构形状设计较为保守简易，由于硅片每批次厚度的均匀性差异较大，需要更换不同的垫片才能保证和硅片在同一平面上，否则会影响成膜的均匀性；其次，垫片中间的开孔大小和硅片之间存在空隙，在涂布过程中，溶液容易从垫片和硅片之间的间隙渗漏到样品台上，对样品台的整体均匀度产生影响，因此提出一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装，解决现有的同类产品的结构形状设计较为保守简易，由于硅片每批次厚度的均匀性差异较大，需要更换不同的垫片才能保证和硅片在同一平面上，否则会影响成膜的均匀性；其次，垫片中间的开孔大小和硅片之间存在空隙，在涂布过程中，溶液容易从垫片和硅片之间的间隙渗漏到样品台上，对样品台的整体均匀度产生影响的问题。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装，包括固定框(1)、电机安装底板(2)和工装顶板(3)，所述工装顶板(3)和电机安装底板(2)分别安装于固定框(1)的上、下表面，其特征在于：所述电机安装底板(2)上表面中部螺钉固定有升降电机(4)，所述升降电机(4)输出端设置有螺杆(41)，所述螺杆(41)周侧面螺纹连接有螺套(42)，所述螺套(42)外壁固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)上表面螺钉固定有工装中间衬底(6)，所述工装中间衬底(6)下表面周边螺钉固定有防漏液挡板(7)，所述固定框(1)内壁螺钉固定安装有溶液收集托盘(8)，所述防漏液挡板(7)的位置与溶液收集托盘(8)相适应...

【技术特征摘要】

1.一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装，包括固定框(1)、电机安装底板(2)和工装顶板(3)，所述工装顶板(3)和电机安装底板(2)分别安装于固定框(1)的上、下表面，其特征在于：所述电机安装底板(2)上表面中部螺钉固定有升降电机(4)，所述升降电机(4)输出端设置有螺杆(41)，所述螺杆(41)周侧面螺纹连接有螺套(42)，所述螺套(42)外壁固定连接有支撑板(5)，所述支撑板(5)上表面螺钉固定有工装中间衬底(6)，所述工装中间衬底(6)下表面周边螺钉固定有防漏液挡板(7)，所述固定框(1)内壁螺钉固定安装有溶液收集托盘(8)，所述防漏液挡板(7)的位置与溶液收集托盘(8)相适应，所述工装顶板(3)一表面开设有衬底槽(9)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装，其特征在于，所述衬底槽(9)内相对两表面下部均开设有活动槽(10)，所述活动槽(10)的形状和大小均与防漏液挡板(7)相适应，所述活动槽(10)与防漏液挡板(7)之间相互配合。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶硅行业特定基材的新型涂布工装，其特征在于，所述衬底槽(9)形状和大小均与工装中间衬底(6)相适应，所述工装中间衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱云国，
申请(专利权)人：上海迪塔镁克工程技术有限公司，
类型：发明
国别省市：