【技术实现步骤摘要】
本申请涉及测温仪调试，尤其涉及一种测温仪对准装置及测温仪的对准方法。
技术介绍
1、在工业活动过程中，有时需要调整测温仪的位置，以使得测温仪的焦点与待测试热源的温度最高点相对。例如，在长晶炉设备中，在进行长晶工艺前，需要提前将热场及其底座、支撑件等装载到石英管内，并需要人工调节使热场和石英管同心。在长晶工艺结束后，需要人工将热场取出。在长晶炉设备中，可以利用测温仪(例如红外测温仪)作为温度测量装置。测温仪需要透过上方石英观察窗，测量热场上方石墨毡开孔处温度，其中，观察窗处为待测试热源的温度最高处。在实施长晶工艺的过程中，经常需要将热场取出或放入长晶炉设备中。在人工将热场放入长晶炉设备的过程中，热场可能出现倾斜现象。而现有技术中，只能驱动测温仪在水平面内进行移动，从而无法准确地将测温仪的镜头的中心轴线调节至与热场的温度最高点相对。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种测温仪对准装置及测温仪的对准方法，以解决如何较准确地使得测温仪的镜头的中心轴线与待测试热源的温度最高点相对的问题。
...【技术保护点】
1.一种测温仪对准装置，其特征在于，所述测温仪对准装置应用于半导体工艺设备，所述测温仪对准装置包括：测温仪(110)和驱动组件(120)；
2.根据权利要求1所述的测温仪对准装置，其特征在于，所述第一轴线(1211)与所述第二轴线(1221)垂直。
3.根据权利要求1所述的测温仪对准装置，其特征在于，所述驱动组件(120)包括：第一支座(123)、第一旋转驱动器(121)、第二支座(124)、第二旋转驱动器(122)和第三支座(125)；
4.根据权利要求1所述的测温仪对准装置，其特征在于，所述测温仪对准装置还包括：固定座(126)...
【技术特征摘要】
1.一种测温仪对准装置，其特征在于，所述测温仪对准装置应用于半导体工艺设备，所述测温仪对准装置包括：测温仪(110)和驱动组件(120)；
2.根据权利要求1所述的测温仪对准装置，其特征在于，所述第一轴线(1211)与所述第二轴线(1221)垂直。
3.根据权利要求1所述的测温仪对准装置，其特征在于，所述驱动组件(120)包括：第一支座(123)、第一旋转驱动器(121)、第二支座(124)、第二旋转驱动器(122)和第三支座(125)；
4.根据权利要求1所述的测温仪对准装置，其特征在于，所述测温仪对准装置还包括：固定座(126)、第一滑块(1271)、第一调节螺柱(1272)、第二滑块(1273)和第二调节螺柱(1274)；
5.根据权利要求1至4中任一项所述的测温仪对准装置，其特征在于，所述测温仪对准装置还包括：分别与所述测温仪以及所述驱动组件连接的控制器，所述控制器用于：
6.根据权利要求5所述的测温仪对准装置，其特征在于，所述确定所述温度最高点(211)的位置与所述测温区(210)的中心点(212...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永凯，张瑞，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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