【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体专用器件，具体是一种基于磁-扭弹簧六自由度超低频隔振平台。
技术介绍
1、目前半导体行业飞速发展，半导体生产设备的精度要求越来越高，设备对微振动等环境的要求也越来越敏感，少许的微振动就会降低设备的产出良率，甚至使设备不能正常工作，因此对微振动的隔离变得越来越重要。
2、由外部环境振动及设备内部反作用力引起的微振动是制约超精密仪器测量精度与超精密加工装备制造精度的关键因素之一，高性能精密隔微振技术成为精密工程、超精密制造等领域的一项核心关键技术，对该技术的研究具有重要的实际意义与应用价值。超精密测量仪器和超精密加工制造装备产生干扰的振动频率主要在0. 8～100hz内的低频振动。被动隔振器从原理上依靠降低其固有频率，滤掉来自外界的振动，隔振效果取决于其固有频率的大小。但是固有频率与隔振器刚度算术平方根成正比，即固有频率越小刚度越小。对于负载带来的扰动振源被动隔振器是无法抑制的。主动控制的隔振系统对于解决超低频微幅隔振非常有效，同时选择合适的结构和控制策略可实现对负载带来的扰动进行抑制。
3、但是...
【技术保护点】
1.一种基于磁-扭弹簧六自由度超低频隔振平台，包括底座、顶板、支撑板和隔振腿，其特征在于，所述底座顶部四周依次垂直焊接有支撑板，所述底座顶部中间安装有隔振腿，所述隔振腿顶部通过虎克铰与顶板底部中间连接，所述顶板左侧、后侧中间与支撑板之间分别通过虎克铰连接有隔振腿，所述顶板右侧、前侧中间与支撑板之间分别通过虎克铰连接有扭转弹簧，所述隔振腿包括外壳和推杆，所述外壳内侧自上而下垂直焊接有上支撑板和下支撑板，所述推杆垂直穿过外壳顶部、上支撑板和下支撑板，所述上支撑板的上方、推杆外侧垂直焊接有横板，所述横板底部安装有永磁体，所述上支撑板的顶部与永磁体垂直对应安装有电磁线圈A，所...
【技术特征摘要】
1.一种基于磁-扭弹簧六自由度超低频隔振平台，包括底座、顶板、支撑板和隔振腿，其特征在于，所述底座顶部四周依次垂直焊接有支撑板，所述底座顶部中间安装有隔振腿，所述隔振腿顶部通过虎克铰与顶板底部中间连接，所述顶板左侧、后侧中间与支撑板之间分别通过虎克铰连接有隔振腿，所述顶板右侧、前侧中间与支撑板之间分别通过虎克铰连接有扭转弹簧，所述隔振腿包括外壳和推杆，所述外壳内侧自上而下垂直焊接有上支撑板和下支撑板，所述推杆垂直穿过外壳顶部、上支撑板和下支撑板，所述上支撑板的上方、推杆外侧垂直焊接有横板，所述横板底部安装有永磁体，所述上支撑板的顶部与永磁体垂直对应安装有电磁线圈a，所述上支撑板底部安装有隔磁板，所述隔磁板底部安装有永磁块，所述下支撑板顶部与永磁块垂直对应安装有电磁线圈b，所述永磁块与电磁线圈b之间、推杆外侧安装有铜板，所述推杆底部通过球铰连接有活塞，所述活塞与外壳底部内侧之间组成主气室，所述主气室一侧通过气孔连接有附加气室，所述附加气室外侧连接有进气管，所述进气管上安装有气动阀，所述顶板底部还安装有位置传感器和加速度传感器，所述底座顶部还安装有控制器。
2.根据权利要求1所述的一种基于磁-扭弹簧六自由度超低频隔振平台，其特征在于，所述外壳由不锈钢板制成含内腔的圆柱型结构。
3.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：马跃，李剑钊，李伟，贾国辉，崔莹莹，
申请(专利权)人：大连地拓精密科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。