碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法技术

本发明专利技术的一方式所涉及的感光性树脂组合物含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂，粘合剂聚合物包含碱可溶性树脂，该碱可溶性树脂具有源自丙烯酸的结构单元、源自苯乙烯或苯乙烯衍生物的结构单元及源自具有脂环结构的(甲基)丙烯酸酯化合物的结构单元。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种碱可溶性树脂、感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法。

技术介绍

1、在印刷线路板的制造领域中，作为蚀刻处理或镀敷处理等中所使用的抗蚀剂材料，可广泛使用感光性树脂组合物及具备使用感光性树脂组合物形成于支撑膜上的层(以下，也称为“感光层”。)的感光性元件。

2、印刷线路板使用上述感光性元件例如通过以下的步骤来制造。即，首先，将感光性元件的感光层层压在覆铜层叠板等电路形成用基板上。接着，隔着掩膜等对感光层进行曝光，形成光固化部。此时，在曝光前或曝光后剥离支撑膜。此后，用显影液去除感光层的光固化部以外的区域，形成抗蚀剂图案。接着，将抗蚀剂图案作为抗蚀剂，实施蚀刻处理或镀敷处理而形成导体图案，最终剥离(去除)感光层的光固化部(抗蚀剂图案)。

3、近年来，随着印刷线路板的高密度化和导体图案的微细化的进展，电路形成用基板与作为抗蚀剂的感光层的接触面积变小。因此，对感光层要求蚀刻处理或镀敷处理时的优异的特性，并且要求与电路形成用基板的优异的密合性及形成抗蚀剂图案时的优异的解析度(例如，参考专利文本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂，其中，

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

8.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种感光性树脂组合物，其含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂及增感剂，其中，

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，

4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

8.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，

9.一种碱可溶性树脂，其具有源自丙...

【专利技术属性】
技术研发人员：油井基彰，泽木琢，木下健宏，户田夏木，名越俊昌，
申请(专利权)人：株式会社力森诺科，
类型：发明
国别省市：