双面压印制造技术

提供了用于双面压印的系统、装置和方法。示例系统包括：用于移动第一幅材的第一辊，第一幅材包括具有第一压印特征的第一模板；用于移动第二幅材的第二辊，第二幅材包括具有第二压印特征的第二模板；用于分配抗蚀剂的分配器；用于定位第一幅材和第二幅材上的参考标记从而使第一模板和第二模板对准的定位系统；用于固化抗蚀剂的光源，使得固化的第一抗蚀剂在基板的一侧上具有与第一压印特征相对应的第一压印的特征，并且固化的第二抗蚀剂在基板另一侧上具有与第二压印特征相对应的第二压印的特征；以及用于在第一模板和第二模板之间进给基板并从第一幅材和第二幅材卸载双压印的基板的移动系统。

【技术实现步骤摘要】

本公开总体上涉及压印技术，尤其涉及双面压印。

技术介绍

1、当开发用于从在基板上创建单面印记(imprint)到根据模板在两面上印记过渡的过程和/或工具时，要克服许多挑战。挑战可以包括：将基板与模板进行定位和对准，定位参考特征以帮助对准，在没有滞留空气和缺陷的情况下创建印记，以及保持基板而不损坏。

技术实现思路

1、本公开描述了用于双面压印的方法、设备和系统，其已经解决了上述挑战。

2、本公开的一个方面的特征在于，一种双面压印方法，该方法包括：沿着第一辊拉动第一幅材并且沿着第二辊拉动第二幅材，第一幅材包括第一模板，并且第二幅材包括第二模板；使第一幅材和第二幅材上的参考标记对准，以使第一模板和第二模板彼此对准；沿着第一辊在第一方向上拉动第一幅材以将第一模板暴露于第一分配器，并且沿着第二辊在第二方向上拉动第二幅材以将第二模板暴露于第二分配器；通过第一分配器在第一模板上分配第一抗蚀剂，并且通过第二分配器在第二模板上分配第二抗蚀剂；沿着第一辊在与第一方向相反的方向上拉动第一幅材，并且沿着第二辊在与第二方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于双面压印的系统，包括：

2.根据权利要求1所述的系统，还包括：

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述夹紧系统包括：

4.根据权利要求3所述的系统，其中，所述卡盘包括真空卡盘，所述真空卡盘被配置为利用真空在所述第一幅材上卡紧。

5.根据权利要求3所述的系统，其中，所述卡盘是可移动的，并且

6.根据权利要求3所述的系统，其中，所述卡盘位于一对引导件上，并且该对引导件中的每个引导件能够在连接到框架的相应的轨道上移动，并且

7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一辊和所述第二辊被布置为使得：在所述第一模板...

【技术特征摘要】

1.一种用于双面压印的系统，包括：

2.根据权利要求1所述的系统，还包括：

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述夹紧系统包括：

4.根据权利要求3所述的系统，其中，所述卡盘包括真空卡盘，所述真空卡盘被配置为利用真空在所述第一幅材上卡紧。

5.根据权利要求3所述的系统，其中，所述卡盘是可移动的，并且

6.根据权利要求3所述的系统，其中，所述卡盘位于一对引导件上，并且该对引导件中的每个引导件能够在连接到框架的相应的轨道上移动，并且

7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述第一辊和所述第二辊被布置为使得：在所述第一模板与所述第二模板之间插入所述基板之后，所述基板与所述第一模板和所述第二模板一起移...

【专利技术属性】
技术研发人员：C·J·福莱肯斯坦，R·帕特森，C·S·卡登，S·萨达姆，M·S·沙夫兰，V·辛格，M·N·米勒，K·罗，R·克里斯蒂安森，
申请(专利权)人：奇跃公司，
类型：发明
国别省市：