弹性波装置制造方法及图纸

本发明专利技术能够提供一种弹性波装置，能够抑制高阶模式。本发明专利技术的弹性波装置(1)具备支承基板(3)、设置在支承基板(3)上的压电体层(4)、以及设置在压电体层(4)上且具有多个电极指(多个第一第二电极指(18、19))的IDT电极(5)。作为压电体层(4)的材料，使用铌酸锂或钽酸锂。作为支承基板(3)的材料，使用YAG、金红石、铝酸镧、钛酸锶及铝酸钇中的一种。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及弹性波装置。

技术介绍

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携电话机的滤波器等。在下述的专利文献1中公开了弹性波装置的一例。在该弹性波装置中，使用支承基板、低声速膜及压电体层的层叠基板。在压电体层上设置有idt(interdigital transducer：叉指换能器)电极。在专利文献1中，作为压电体层的材料的例子，举出litao3及linbo3等。作为支承基板的材料的例子，举出硅等。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特许第5910763号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、在专利文献1所记载的那样的使用了层叠基板的弹性波装置中，能够将主模式封闭在压电体层侧。但是，在支承基板包括硅的弹性波装置中，不仅是主模式，还容易将高阶模式封闭在压电体层侧。因此，有时难以充分地抑制作为无用波的高阶模式。

3、本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制高阶模式的弹性波装置。

4、用于解决问题的手段

5本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1至7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1至9中的任一项所述的弹性波装置，其中，...

【技术特征摘要】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1所述的弹性波...

【专利技术属性】
技术研发人员：大门克也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：