【技术实现步骤摘要】
本申请大体上涉及精密双边直线电机、特别是涉及具有较大推力且最大程度抵消齿槽效应的结构紧凑的精密直线电机。
技术介绍
1、直线电机已经广泛应用于包括液晶显示、半导体制造等电子工业领域中,作为高精度的直线驱动装置。对于有铁芯直线电机而言,虽然其产生的推力较大,但是电机动子与定子之间因齿槽效应产生的磁吸引力影响,导致直线电机整体结构在运动时会出现形变、甚至会出现不利的推力波动效应,进而影响定位精度。尽管目前已经存在无铁芯直线电机,但是对于无铁芯直线电机而言,其所产生的推力往往不足以达到足够高的程度,仅能够在小推力需求的应用场合中使用。
2、此外,虽然可以通过将两个有铁芯直线电机采用背靠背的组合方式布置来作为直线驱动装置。但是,这种背靠背的组合方式要求必须在两个动子铁芯之间另外增设磁场隔离结构,从而导致最终的设备通常体积较为庞大,很难应用于对空间要求狭小的应用场合,缩窄了直线电机能够应用的场景。同时,磁场隔离结构也会导致这种组合电机的结构强度降低以及性能的下降。
技术实现思路
1、针对
...【技术保护点】
1.一种精密双边直线电机(100),包括:
2.根据权利要求1所述的精密双边直线电机(100),其特征在于,所述多个动子芯材(110)的叠合方向与所述动子(10)的直线移动方向和每个定子(20)的定子部件(22)所在的平面同时垂直。
3.根据权利要求2所述的精密双边直线电机(100),其特征在于,在每个动子芯材(110)的轭部(1101)中形成有多个开口(1103),所述多个开口(1103)在所述动子(10)的直线移动方向上彼此间隔,在所述多个动子芯材(110)彼此叠合时,所述多个开口(1103)中的相互对正的开口(1103)形成多个彼此间隔的
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【技术特征摘要】
1.一种精密双边直线电机(100),包括:
2.根据权利要求1所述的精密双边直线电机(100),其特征在于,所述多个动子芯材(110)的叠合方向与所述动子(10)的直线移动方向和每个定子(20)的定子部件(22)所在的平面同时垂直。
3.根据权利要求2所述的精密双边直线电机(100),其特征在于,在每个动子芯材(110)的轭部(1101)中形成有多个开口(1103),所述多个开口(1103)在所述动子(10)的直线移动方向上彼此间隔,在所述多个动子芯材(110)彼此叠合时,所述多个开口(1103)中的相互对正的开口(1103)形成多个彼此间隔的通道。
4.根据权利要求3所述的精密双边直线电机(100),其特征在于,每个指部(1102)与所述动子(10)的直线移动方向垂直地延伸;和/或,在每个动子芯材(110)中,在沿着所述动子(10)的直线移动方向上相邻的两个指部(1102)之间形成有一个开口(1103)。
5.根据权利要求4所述的精密双边直线电机(100),其特征在于,在每个动子芯材(110)中,两个相反的侧边处的多个间隔的指部(1...
【专利技术属性】
技术研发人员:曾凯,陈豪,朱鹏,
申请(专利权)人:派克汉尼汾工业液压技术上海有限公司,
类型:新型
国别省市:
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