System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法技术_技高网

一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法技术

技术编号:42307532 阅读:13 留言:0更新日期:2024-08-14 15:53
本发明专利技术涉及图像处理技术领域,具体涉及一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法。获取涂胶完成后的玻璃基板的涂胶面图像,确定涂胶面图像中的连通域;对涂胶面图像中点的亮度进行衰减程度分析,确定各点的模糊边缘透光衰减特征值;基于模糊边缘透光衰减特征值对涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域;分析模糊缺陷边缘区域内的特征,确定模糊缺陷边缘区域内每个点的模糊缺陷边缘特征,从模糊缺陷边缘区域中获取模糊缺陷边缘点;基于模糊缺陷边缘点为中心,对涂胶面图像进行平滑处理,得到平滑涂胶面图像;对平滑涂胶面图像提取骨架,作为下次涂胶过程定位结果。本发明专利技术实施例提高了对玻璃基板进行旋转涂胶完成后的涂胶质量检测的精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及图像处理,具体涉及一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法


技术介绍

1、玻璃基板通常指的是表面极其平整的薄玻璃片,而玻璃基板的旋涂涂胶工艺是通过旋转涂胶的方法将光刻胶均匀的涂覆在玻璃基板表面,但是在实际旋转涂胶的过程中,由于旋转参数的变化,比如旋转加速度、旋转时间的变化,又或者是涂胶刀与掩模基板的接触角度变化,往往会使旋转涂胶结果中产生涂胶不均匀问题,进而导致涂胶结果中产生色差、颗粒以及气孔等缺陷。

2、现有的,通常是通过对旋转涂胶后多角度拍摄的表面图像与标准图像的对比,以实现对玻璃基板旋转涂胶的质量检测。但是在实际旋转涂胶后对待测涂胶面进行多角度拍摄时,由于存在相机设备信道噪声、设置参数等的影响,容易使得多张多角度采集图像存在模糊,质量低的问题,从而影响多角度拍摄的待测的表面图像与标准图像的对比结果,导致对多角度拍摄的待测的表面图像进行涂胶质量检测时存在准确性较差。


技术实现思路

1、为了解决由于存在相机设备信道噪声、设置参数等,从而会影响多角度拍摄的待测的表面图像与标准图像的对比结果,进而导致涂胶质量检测时存在准确性较差的技术问题,本专利技术的目的在于提供一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,所采用的技术方案具体如下:

2、第一方面,本专利技术实施例提供了一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,该方法包括:

3、获取不同拍摄角度下旋转涂胶完成后的玻璃基板的待测涂胶面图像,确定所述待测涂胶面图像中的连通域;

4、对所述待测涂胶面图像中点的亮度进行衰减程度分析,确定各点的模糊边缘透光衰减特征值;基于所述模糊边缘透光衰减特征值对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域;

5、结合所述模糊边缘透光衰减特征值的变化波动,确定所述模糊缺陷边缘区域的每个点的透光性衰减奇异分布值;结合所述模糊缺陷边缘区域内连通域的特征差和透光性衰减奇异分布值,确定模糊缺陷边缘区域的每个点的模糊缺陷边缘特征;基于所述模糊缺陷边缘特征从所述模糊缺陷边缘区域中获取模糊缺陷边缘点;

6、基于模糊缺陷边缘点为中心,对所述待测涂胶面图像进行平滑处理,得到平滑涂胶面图像;比较不同拍摄角度对应的平滑涂胶面图像和标准涂胶面图像,得到平滑涂胶面图像对应的玻璃基板的旋转涂胶质量结果。

7、进一步地,所述对所述待测涂胶面图像中点的亮度进行衰减程度分析,确定各点的模糊边缘透光衰减特征值,包括:

8、由待测涂胶面图像中每个点的局部范围内的亮度值构建每个点对应的透光性衰弱特征序列;

9、比较所述透光性衰弱序列中相邻亮度值的差异,由相邻亮度值的差异的整体情况,确定对应的透光衰减特征指数;

10、由待测涂胶面图像中每个点的局部范围内的灰度值的混乱程度,确定每个点对应的模糊缺陷边缘特征;

11、结合每个点对应的所述透光衰减特征指数和所述模糊缺陷边缘特征,确定待测涂胶面图像中每个点的模糊边缘透光衰减特征值;其中,透光衰减特征指数和模糊缺陷边缘特征均与模糊边缘透光衰减特征值呈正相关关系。

12、进一步地,所述基于所述模糊边缘透光衰减特征值对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:

13、将模糊边缘透光衰减特征值作为分割算法的输入,对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域。

14、进一步地,所述将模糊边缘透光衰减特征值作为分割算法的输入,对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:

15、将待测涂胶面图像中所有点的模糊边缘透光衰减特征值作为大津阈值分割算法的输入,将大于预设透光衰减特征分割阈值的模糊边缘透光衰减特征值所对应的点作为模糊缺陷边缘区域的像素点,得到模糊缺陷边缘区域。

16、进一步地,所述结合所述模糊边缘透光衰减特征值的变化波动,确定所述模糊缺陷边缘区域的每个点的透光性衰减奇异分布值,包括:

17、比较模糊缺陷边缘区域的每个点与局部范围内点的模糊边缘透光衰减特征值的整体差异,确定模糊缺陷边缘区域的每个点的透光性衰减奇异因子;

18、由模糊缺陷边缘区域的每个点的局部范围内模糊边缘透光衰减特征值的离散情况,确定模糊缺陷边缘区域的每个点的透光性衰减奇异程度值;

19、结合每个点的所述透光性衰减奇异因子和所述透光性衰减奇异程度值,确定模糊缺陷边缘区域的每个点的透光性衰减奇异分布值;其中,透光性衰减奇异因子和透光性衰减奇异程度值均与模糊缺陷边缘区域呈正相关关系。

20、进一步地,所述结合所述模糊缺陷边缘区域内连通域的特征差和透光性衰减奇异分布值,确定模糊缺陷边缘区域的每个点的模糊缺陷边缘特征,包括:

21、获取在模糊缺陷边缘区域的每个点的局部范围内不同连通域的面积,记为区域面积;

22、分析模糊缺陷边缘区域的每个点的局部范围内不同连通域的区域面积的差异,确定每个点的模糊特征值;

23、结合每个点的所述模糊特征值和所述透光性衰减奇异分布值,确定模糊缺陷边缘区域的每个点的模糊缺陷边缘特征;其中,模糊特征值和透光性衰减奇异分布值均与模糊缺陷边缘特征呈正相关关系。

24、进一步地,所述基于所述模糊缺陷边缘特征从所述模糊缺陷边缘区域中获取模糊缺陷边缘点,包括:

25、将模糊缺陷边缘特征作为大津阈值分割算法的输入,将大于预设模糊边缘缺陷分割阈值的模糊缺陷边缘特征所对应的点,作为模糊缺陷边缘点。

26、进一步地,所述基于模糊缺陷边缘点为中心,对所述待测涂胶面图像进行平滑处理,得到平滑涂胶面图像,包括:

27、以每个模糊缺陷边缘点为中心构建对应的区域窗口,基于模糊缺陷边缘点对所对应的区域窗口内的点进行平滑处理,得到平滑涂胶面图像。

28、进一步地,所述比较不同拍摄角度对应的平滑涂胶面图像和标准涂胶面图像,得到平滑涂胶面图像对应的玻璃基板的旋转涂胶质量结果,包括:

29、对于任意拍摄角度对应的平滑涂胶面图像,将平滑涂胶面图像与标准涂胶面图像进行图像差运算,得到所有像素点的灰度差,将所有像素点的灰度差的均值作为不同拍摄角度对应的平滑涂胶面图像的涂胶色差参数;

30、获取所有拍摄角度下平滑涂胶面图像的涂胶色差参数均值,当涂胶色差参数均值小于预设色差参数时,判定此次旋转涂胶结果不存在涂胶色差的质量缺陷;

31、当所有待测涂胶面灰度增强图像的涂胶色差参数均值大于或等于预设色差参数时,判定此次旋转涂胶结果存在涂胶色差的质量缺陷。

32、进一步地,所述确定所述待测涂胶面图像中的连通域,包括:

33、基于所述待测涂胶面图像中各点的灰度值,获取所述待测涂胶面图像中的连通域。

34、第二方面,提供了一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测系统,所述系统包括以下模块:

35、获取模块,用于获取不同拍摄角度下旋转涂胶完成后的玻璃基板的待测涂胶面图像,确定所述待测涂胶面图像中本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述对所述待测涂胶面图像中点的亮度进行衰减程度分析,确定各点的模糊边缘透光衰减特征值,包括:

3.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述基于所述模糊边缘透光衰减特征值对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:

4.根据权利要求3所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述将模糊边缘透光衰减特征值作为分割算法的输入,对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:

5.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述结合所述模糊边缘透光衰减特征值的变化波动,确定所述模糊缺陷边缘区域的每个点的透光性衰减奇异分布值,包括:

6.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述结合所述模糊缺陷边缘区域内连通域的特征差和透光性衰减奇异分布值,确定模糊缺陷边缘区域的每个点的模糊缺陷边缘特征,包括:

7.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述基于所述模糊缺陷边缘特征从所述模糊缺陷边缘区域中获取模糊缺陷边缘点,包括:

8.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述基于模糊缺陷边缘点为中心,对所述待测涂胶面图像进行平滑处理,得到平滑涂胶面图像,包括:

9.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述比较不同拍摄角度对应的平滑涂胶面图像和标准涂胶面图像,得到平滑涂胶面图像对应的玻璃基板的旋转涂胶质量结果,包括:

10.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述确定所述待测涂胶面图像中的连通域,包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述对所述待测涂胶面图像中点的亮度进行衰减程度分析,确定各点的模糊边缘透光衰减特征值,包括:

3.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述基于所述模糊边缘透光衰减特征值对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:

4.根据权利要求3所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述将模糊边缘透光衰减特征值作为分割算法的输入,对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:

5.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述结合所述模糊边缘透光衰减特征值的变化波动,确定所述模糊缺陷边缘区域的每个点的透光性衰减奇异分布值,包括:

6.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:李弋舟段聪钟选飞
申请(专利权)人:长沙韶光芯材科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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