【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及图像处理,具体涉及一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法。
技术介绍
1、玻璃基板通常指的是表面极其平整的薄玻璃片,而玻璃基板的旋涂涂胶工艺是通过旋转涂胶的方法将光刻胶均匀的涂覆在玻璃基板表面,但是在实际旋转涂胶的过程中,由于旋转参数的变化,比如旋转加速度、旋转时间的变化,又或者是涂胶刀与掩模基板的接触角度变化,往往会使旋转涂胶结果中产生涂胶不均匀问题,进而导致涂胶结果中产生色差、颗粒以及气孔等缺陷。
2、现有的,通常是通过对旋转涂胶后多角度拍摄的表面图像与标准图像的对比,以实现对玻璃基板旋转涂胶的质量检测。但是在实际旋转涂胶后对待测涂胶面进行多角度拍摄时,由于存在相机设备信道噪声、设置参数等的影响,容易使得多张多角度采集图像存在模糊,质量低的问题,从而影响多角度拍摄的待测的表面图像与标准图像的对比结果,导致对多角度拍摄的待测的表面图像进行涂胶质量检测时存在准确性较差。
技术实现思路
1、为了解决由于存在相机设备信道噪声、设置参数等,从而会影响多角度拍摄的待测的表
...【技术保护点】
1.一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述对所述待测涂胶面图像中点的亮度进行衰减程度分析,确定各点的模糊边缘透光衰减特征值,包括:
3.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述基于所述模糊边缘透光衰减特征值对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:
4.根据权利要求3所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述将模糊边缘透光衰减特征值作为分割算法的输入,对待测涂胶面
...【技术特征摘要】
1.一种用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述对所述待测涂胶面图像中点的亮度进行衰减程度分析,确定各点的模糊边缘透光衰减特征值,包括:
3.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述基于所述模糊边缘透光衰减特征值对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:
4.根据权利要求3所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述将模糊边缘透光衰减特征值作为分割算法的输入,对待测涂胶面图像进行分割,得到模糊缺陷边缘区域,包括:
5.根据权利要求1所述的用于玻璃基板旋转涂胶质量的检测方法,其特征在于,所述结合所述模糊边缘透光衰减特征值的变化波动,确定所述模糊缺陷边缘区域的每个点的透光性衰减奇异分布值,包括:
6.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李弋舟,段聪,钟选飞,
申请(专利权)人:长沙韶光芯材科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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