【技术实现步骤摘要】
本技术涉及有机溶剂再生，具体涉及一种适用于电子半导体产业制程或者光电产业制程中所需的有机溶剂再生系统。
技术介绍
1、目前所使用在电子半导体产业制程中或者光电产业制程中的有机溶剂回收系统，其一般常用于光阻剥离剂(pr stripper)、或用于清洗溶剂、或用于粘结等有机溶剂为包含有nmp(即n-甲基吡咯烷酮，n-methyl-pyrrolidinone)化学成分在，然而，伴随着其衍生的相关制程所势必产生的废料溶剂等后续处理或程序，则是一直持续困扰着各界。
2、因此，要如何符合当前联合国永续发展目标(sustainable development goals,sdgs)中的持续提升绿色制造能力，致使环境永续发展，实则本技术亟欲改善的方向。
技术实现思路
1、而为了要解决先前技术所述的问题，本技术提供一种适用于电子半导体产业制程或者光电产业制程中所需的有机溶剂再生系统，通过其包含有一个监控单元此技术特征，将能建立起该有机溶剂再生系统整体所需对应的作业环境，并将一待处理液体经由本技术...
【技术保护点】
1.一种有机溶剂再生系统，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的有机溶剂再生系统，其特征在于，经电性启动该监控单元(10)的该真空模块(11)与该温控模块(13)，使该有机溶剂再生系统整体维持于一预定起始作业真空度以及一预定起始作业温度。
3.如权利要求2所述的有机溶剂再生系统，其特征在于，该监控单元(10)经分别电性控制该进料单元(20)与该再生单元(30)，使放置在该进料单元(20)中的一待处理液体得以被传输至该再生单元(30)中。
4.如权利要求3所述的有机溶剂再生系统，其特征在于，经电性启动该监控单元(10)的该真空模块...
【技术特征摘要】
1.一种有机溶剂再生系统，其特征在于，包含：
2.如权利要求1所述的有机溶剂再生系统，其特征在于，经电性启动该监控单元(10)的该真空模块(11)与该温控模块(13)，使该有机溶剂再生系统整体维持于一预定起始作业真空度以及一预定起始作业温度。
3.如权利要求2所述的有机溶剂再生系统，其特征在于，该监控单元(10)经分别电性控制该进料单元(20)与该再生单元(30)，使放置在该进料单元(20)中的一待处理液体得以被传输至该再生单元(30)中。
4.如权利要求3所述的有机溶剂再生系统，其特征在于，经电性启动该监控单元(10)的该真空模块(11)与该温控模块(13)，使该再生单元(30)符合一第一过滤工序所需的作业真空度以及作业温度。
5.如权利要求4所述的有机溶剂再生系统，其特征在于，经电性启动...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶祺成，杨信利，张耀宇，刘彦君，杨证富，卢裕溢，
申请(专利权)人：恒昌精密科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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