System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置制造方法及图纸_技高网

一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置制造方法及图纸

技术编号:42303218 阅读:12 留言:0更新日期:2024-08-14 15:50
本发明专利技术公开了一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,属于真空拾取输送技术领域,包括进片装置,进片装置上设置有吸附装置,吸附装置用于将玻片进行吸附,吸附装置旁设置有吸盘装置,吸盘装置旁设置有输出装置,吸盘装置用于将玻片转移到输出装置上,输出装置用于将玻片进行输出。本发明专利技术设置的进片装置能够实现间歇地将玻片等材料的不断进料,同时进料间歇进行,配合吸盘装置的动作节奏,自动化程度高;本发明专利技术设置的吸盘装置在与吸附装置对接时,能够将输送带上玻片进行吸附,当吸盘装置带着玻片与输出装置对接时,将玻片装置放置在输出装置上,自动化程度高;吸盘装置每次间歇性转动九十度,有足够的时间吸附玻片和放置玻片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空拾取输送,特别涉及一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置


技术介绍

1、在工业生产中,玻璃或圆晶的转运一直是很大的问题,由于玻璃特殊的性质,使其即不容易夹取,又不容易运输,这时真空吸附转运方法应运而生;现有的真空吸附,大多为吸盘后端连接一气管,另一端连接真空泵进行抽真空,这种方式能够保证吸附的力度,但一个泵连接多根气管将产生气压不稳与机器长时间工作的情况,这不符合工业生产中的工艺稳定性需求。现有技术中的真空拾取和脱落装置不能准确辨识拾取与放置功能,同时无法实现连续作业,自动化程度欠佳。


技术实现思路

1、针对上述技术问题,本专利技术采用的技术方案为:一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,包括进片装置,所述的进片装置包括装料架,所述的进片装置将需要拾取的玻片放入,所述的进片装置上设置有吸附装置,所述的吸附装置包括传输架,传输架固定安装在装料架上,所述的吸附装置用于将玻片进行吸附,所述的吸附装置旁设置有吸盘装置,所述的吸盘装置包括转座,所述的吸盘装置旁设置有输出装置,所述的输出装置包括输出架,所述的吸盘装置用于将玻片转移到输出装置上,所述的输出装置用于将玻片进行输出。

2、进一步地,所述的进片装置包括固定安装在装料架上的底板,装料架上固定安装有推动电机,装料架上转动安装有传动轮,推动电机的电机轴上固定安装有电机齿轮,装料架上转动安装有推动齿轮,推动齿轮上固定安装有对接齿轮和外传动轮,对接齿轮与电机齿轮啮合,装料架上转动安装有推动传动轮,推动传动轮和推动齿轮外缠绕有推动带,推动带上固定安装有若干推动块,装料架内设置有顶出机构。

3、进一步地,所述的顶出机构包括滑动安装在装料架内的上推板,上推板与底板之间设置有顶出弹簧,上推板上放置有若干玻片。

4、将若干玻片放置在上推板上,顶出弹簧处于压缩状态,使得最上方玻片始终与推动带贴住,推动电机带动电机齿轮转动,从而带动对接齿轮、推动齿轮和外传动轮转动,从而带动推动带运动,从而带动推动块将玻片朝着传输架推动,当最上方玻片被推出后,顶出弹簧回弹一小段,带动下一个玻片与推动带接触。

5、进一步地,所述的吸附装置包括固定安装在传输架上的传输电机,传输电机的电机轴上固定安装有传输齿轮,传输架上转动安装有输送轮和外轴,外轴上固定安装有上齿轮、外齿轮和输送主动轮,上齿轮与传输齿轮啮合,输送轮、传动轮和输送主动轮外缠绕有输送带,装料架上转动安装有内轴,内轴上固定安装有完整齿轮和半齿齿轮,外齿轮与完整齿轮啮合,传输架上固定安装有下降对接板,传输架上设置有阻挡机构。

6、进一步地,所述的阻挡机构包括滑动安装在传输架上的阻挡杆,阻挡杆上转动安装有转杆,转杆上转动安装有下滑板,下滑板与传输架滑动安装,下滑板与传输架之间设置有下压弹簧,传输架上固定安装有红外接收器,传输架上固定安装有电缸,电缸顶部固定安装有下压板。

7、当玻片被推到输送带上,传输电机带动传输齿轮转动,从而带动上齿轮和外轴转动,从而带动输送主动轮和外齿轮转动,外齿轮转动带动内轴、完整齿轮和半齿齿轮转动,输送主动轮转动带动输送带运动,将玻片朝着阻挡杆输送,玻片会被阻挡杆阻挡。

8、进一步地,所述的吸盘装置包括转动安装在转座上的转架,转架上固定安装有下锥齿轮,转座上转动安装有侧锥齿轮,侧锥齿轮上固定安装有下齿轮,侧锥齿轮与下锥齿轮啮合,下齿轮与半齿齿轮啮合,转架上设置有四个真空机构。

9、进一步地,所述的真空机构包括滑动安装在转架上的内滑柱,内滑柱上固定安装有吸盘板,吸盘板与转架之间设置有立弹簧,吸盘板上固定安装有红外发射器,吸盘板上固定安装有软质吸盘,软质吸盘内滑动安装有真空盘,真空盘上转动安装有转折杆,转折杆与软质吸盘滑动安装。

10、半齿齿轮转动会带动下齿轮和侧锥齿轮间歇转动,从而带动下锥齿轮和转架间歇转动,每次带动转架转动九十度。

11、当吸盘板与下降对接板接触,下降对接板带动吸盘板和内滑柱下降,立弹簧被拉伸,软质吸盘与玻片接触,软质吸盘通过软吸盘与玻片压紧,此时红外发射器被红外接收器探测到,电缸开始下降带动下压板下降,从而带动下压板下降,下压板带动转折杆转动,从而带动真空盘上升,真空盘与玻片之间形成真空环境,从而将玻片吸附,软质吸盘的软质外圈保证紧密贴合,防止漏气。

12、同时下压板下降会带动下滑板下降,下压弹簧被压缩,从而带动转杆转动,从而带动阻挡杆在传输架中滑动,从而带动阻挡杆向外滑动,使得阻挡杆不再阻挡玻片,此时转架转动可通过软质吸盘将玻片带离输送带。

13、进一步地,所述的输出装置包括转动安装在输出架上的从动轮,输出架上转动安装有主动传动轮,主动传动轮上固定安装有传动对接轮,输出架上转动安装有长轴,长轴上固定安装有外对接轮和内对接轮,外对接轮和外传动轮外缠绕有长传动带,内对接轮与传动对接轮啮合,主动传动轮和从动轮外缠绕有输出带,输出架上固定安装有对接释放块。

14、外传动轮转动会通过长传动带带动外对接轮和长轴转动,从而通过内对接轮带动传动对接轮和主动传动轮转动,从而带动输出带移动,当转架通过软质吸盘带着玻片到达输出带上,此时转折杆与对接释放块接触,对接释放块会带动转折杆转动,从而带动真空盘下降,真空环境解除,将玻片放到输出带上,通过输出带将玻片送出。

15、本专利技术与现有技术相比的有益效果是:(1)本专利技术设置的进片装置能够实现间歇地将玻片等材料的不断进料,同时进料间歇进行,配合吸盘装置的动作节奏,自动化程度高;(2)本专利技术设置的吸盘装置在与吸附装置对接时,能够将输送带上玻片进行吸附,当吸盘装置带着玻片与输出装置对接时,将玻片装置放置在输出装置上,自动化程度高;(3)本专利技术设置的吸盘装置间歇性转动,每次转动九十度,有足够的时间吸附玻片和放置玻片。

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【技术保护点】

1.一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,包括进片装置,其特征在于:所述的进片装置包括装料架(101),所述的进片装置将需要拾取的玻片放入,所述的进片装置上设置有吸附装置,所述的吸附装置包括传输架(201),传输架(201)固定安装在装料架(101)上,所述的吸附装置用于将玻片进行吸附,所述的吸附装置旁设置有吸盘装置,所述的吸盘装置包括转座(301),所述的吸盘装置旁设置有输出装置,所述的输出装置包括输出架(401),所述的吸盘装置用于将玻片转移到输出装置上,所述的输出装置用于将玻片进行输出。

2.根据权利要求1所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的进片装置包括固定安装在装料架(101)上的底板(102),装料架(101)上固定安装有推动电机(108),装料架(101)上转动安装有传动轮(104),推动电机(108)的电机轴上固定安装有电机齿轮(109),装料架(101)上转动安装有推动齿轮(111),推动齿轮(111)上固定安装有对接齿轮(110)和外传动轮(112),对接齿轮(110)与电机齿轮(109)啮合,装料架(101)上转动安装有推动传动轮(107),推动传动轮(107)和推动齿轮(111)外缠绕有推动带(105),推动带(105)上固定安装有若干推动块(106),装料架(101)内设置有顶出机构。

3.根据权利要求2所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的顶出机构包括滑动安装在装料架(101)内的上推板(113),上推板(113)与底板(102)之间设置有顶出弹簧(103),上推板(113)上放置有若干玻片(114)。

4.根据权利要求2所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的吸附装置包括固定安装在传输架(201)上的传输电机(202),传输电机(202)的电机轴上固定安装有传输齿轮(203),传输架(201)上转动安装有输送轮(210)和外轴(205),外轴(205)上固定安装有上齿轮(204)、外齿轮(206)和输送主动轮(211),上齿轮(204)与传输齿轮(203)啮合,输送轮(210)、传动轮(104)和输送主动轮(211)外缠绕有输送带(218),装料架(101)上转动安装有内轴(207),内轴(207)上固定安装有完整齿轮(208)和半齿齿轮(209),外齿轮(206)与完整齿轮(208)啮合,传输架(201)上固定安装有下降对接板(220),传输架(201)上设置有阻挡机构。

5.根据权利要求4所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的阻挡机构包括滑动安装在传输架(201)上的阻挡杆(217),阻挡杆(217)上转动安装有转杆(216),转杆(216)上转动安装有下滑板(215),下滑板(215)与传输架(201)滑动安装,下滑板(215)与传输架(201)之间设置有下压弹簧(219),传输架(201)上固定安装有红外接收器(214),传输架(201)上固定安装有电缸(212),电缸(212)顶部固定安装有下压板(213)。

6.根据权利要求4所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的吸盘装置包括转动安装在转座(301)上的转架(302),转架(302)上固定安装有下锥齿轮(303),转座(301)上转动安装有侧锥齿轮(304),侧锥齿轮(304)上固定安装有下齿轮(305),侧锥齿轮(304)与下锥齿轮(303)啮合,下齿轮(305)与半齿齿轮(209)啮合,转架(302)上设置有四个真空机构。

7.根据权利要求6所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的真空机构包括滑动安装在转架(302)上的内滑柱(307),内滑柱(307)上固定安装有吸盘板(308),吸盘板(308)与转架(302)之间设置有立弹簧(306),吸盘板(308)上固定安装有红外发射器(309),吸盘板(308)上固定安装有软质吸盘(310),软质吸盘(310)内滑动安装有真空盘(311),真空盘(311)上转动安装有转折杆(312),转折杆(312)与软质吸盘(310)滑动安装。

8.根据权利要求1所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的输出装置包括转动安装在输出架(401)上的从动轮(408),输出架(401)上转动安装有主动传动轮(407),主动传动轮(407)上固定安装有传动对接轮(406),输出架(401)上转动安装有长轴(402),长轴(402)上固定安装有外对接轮(403)和内对接轮(405),外对...

【技术特征摘要】

1.一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,包括进片装置,其特征在于:所述的进片装置包括装料架(101),所述的进片装置将需要拾取的玻片放入,所述的进片装置上设置有吸附装置,所述的吸附装置包括传输架(201),传输架(201)固定安装在装料架(101)上,所述的吸附装置用于将玻片进行吸附,所述的吸附装置旁设置有吸盘装置,所述的吸盘装置包括转座(301),所述的吸盘装置旁设置有输出装置,所述的输出装置包括输出架(401),所述的吸盘装置用于将玻片转移到输出装置上,所述的输出装置用于将玻片进行输出。

2.根据权利要求1所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的进片装置包括固定安装在装料架(101)上的底板(102),装料架(101)上固定安装有推动电机(108),装料架(101)上转动安装有传动轮(104),推动电机(108)的电机轴上固定安装有电机齿轮(109),装料架(101)上转动安装有推动齿轮(111),推动齿轮(111)上固定安装有对接齿轮(110)和外传动轮(112),对接齿轮(110)与电机齿轮(109)啮合,装料架(101)上转动安装有推动传动轮(107),推动传动轮(107)和推动齿轮(111)外缠绕有推动带(105),推动带(105)上固定安装有若干推动块(106),装料架(101)内设置有顶出机构。

3.根据权利要求2所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的顶出机构包括滑动安装在装料架(101)内的上推板(113),上推板(113)与底板(102)之间设置有顶出弹簧(103),上推板(113)上放置有若干玻片(114)。

4.根据权利要求2所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的吸附装置包括固定安装在传输架(201)上的传输电机(202),传输电机(202)的电机轴上固定安装有传输齿轮(203),传输架(201)上转动安装有输送轮(210)和外轴(205),外轴(205)上固定安装有上齿轮(204)、外齿轮(206)和输送主动轮(211),上齿轮(204)与传输齿轮(203)啮合,输送轮(210)、传动轮(104)和输送主动轮(211)外缠绕有输送带(218),装料架(101)上转动安装有内轴(207),内轴(207)上固定安装有完整齿轮(208)和半齿齿轮(209),外齿轮(206)与完整齿轮(208)啮合,传输架(...

【专利技术属性】
技术研发人员:姬科举吴建铭马海翔王喜鹏邓凯
申请(专利权)人:徐州举力新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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