一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置制造方法及图纸

技术编号:42303218 阅读:15 留言:0更新日期:2024-08-14 15:50
本发明专利技术公开了一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,属于真空拾取输送技术领域,包括进片装置,进片装置上设置有吸附装置,吸附装置用于将玻片进行吸附,吸附装置旁设置有吸盘装置,吸盘装置旁设置有输出装置,吸盘装置用于将玻片转移到输出装置上,输出装置用于将玻片进行输出。本发明专利技术设置的进片装置能够实现间歇地将玻片等材料的不断进料,同时进料间歇进行,配合吸盘装置的动作节奏,自动化程度高;本发明专利技术设置的吸盘装置在与吸附装置对接时,能够将输送带上玻片进行吸附,当吸盘装置带着玻片与输出装置对接时,将玻片装置放置在输出装置上,自动化程度高;吸盘装置每次间歇性转动九十度,有足够的时间吸附玻片和放置玻片。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空拾取输送,特别涉及一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置


技术介绍

1、在工业生产中,玻璃或圆晶的转运一直是很大的问题,由于玻璃特殊的性质,使其即不容易夹取,又不容易运输,这时真空吸附转运方法应运而生;现有的真空吸附,大多为吸盘后端连接一气管,另一端连接真空泵进行抽真空,这种方式能够保证吸附的力度,但一个泵连接多根气管将产生气压不稳与机器长时间工作的情况,这不符合工业生产中的工艺稳定性需求。现有技术中的真空拾取和脱落装置不能准确辨识拾取与放置功能,同时无法实现连续作业,自动化程度欠佳。


技术实现思路

1、针对上述技术问题,本专利技术采用的技术方案为:一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,包括进片装置,所述的进片装置包括装料架,所述的进片装置将需要拾取的玻片放入,所述的进片装置上设置有吸附装置,所述的吸附装置包括传输架,传输架固定安装在装料架上,所述的吸附装置用于将玻片进行吸附,所述的吸附装置旁设置有吸盘装置,所述的吸盘装置包括转座,所述的吸盘装置旁设置有输出装置,所述的输本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,包括进片装置,其特征在于:所述的进片装置包括装料架(101),所述的进片装置将需要拾取的玻片放入,所述的进片装置上设置有吸附装置,所述的吸附装置包括传输架(201),传输架(201)固定安装在装料架(101)上,所述的吸附装置用于将玻片进行吸附,所述的吸附装置旁设置有吸盘装置,所述的吸盘装置包括转座(301),所述的吸盘装置旁设置有输出装置,所述的输出装置包括输出架(401),所述的吸盘装置用于将玻片转移到输出装置上,所述的输出装置用于将玻片进行输出。

2.根据权利要求1所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,...

【技术特征摘要】

1.一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,包括进片装置,其特征在于:所述的进片装置包括装料架(101),所述的进片装置将需要拾取的玻片放入,所述的进片装置上设置有吸附装置,所述的吸附装置包括传输架(201),传输架(201)固定安装在装料架(101)上,所述的吸附装置用于将玻片进行吸附,所述的吸附装置旁设置有吸盘装置,所述的吸盘装置包括转座(301),所述的吸盘装置旁设置有输出装置,所述的输出装置包括输出架(401),所述的吸盘装置用于将玻片转移到输出装置上,所述的输出装置用于将玻片进行输出。

2.根据权利要求1所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的进片装置包括固定安装在装料架(101)上的底板(102),装料架(101)上固定安装有推动电机(108),装料架(101)上转动安装有传动轮(104),推动电机(108)的电机轴上固定安装有电机齿轮(109),装料架(101)上转动安装有推动齿轮(111),推动齿轮(111)上固定安装有对接齿轮(110)和外传动轮(112),对接齿轮(110)与电机齿轮(109)啮合,装料架(101)上转动安装有推动传动轮(107),推动传动轮(107)和推动齿轮(111)外缠绕有推动带(105),推动带(105)上固定安装有若干推动块(106),装料架(101)内设置有顶出机构。

3.根据权利要求2所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的顶出机构包括滑动安装在装料架(101)内的上推板(113),上推板(113)与底板(102)之间设置有顶出弹簧(103),上推板(113)上放置有若干玻片(114)。

4.根据权利要求2所述的一种基于真空环境的玻璃、晶圆黏附拾取及脱落装置,其特征在于:所述的吸附装置包括固定安装在传输架(201)上的传输电机(202),传输电机(202)的电机轴上固定安装有传输齿轮(203),传输架(201)上转动安装有输送轮(210)和外轴(205),外轴(205)上固定安装有上齿轮(204)、外齿轮(206)和输送主动轮(211),上齿轮(204)与传输齿轮(203)啮合,输送轮(210)、传动轮(104)和输送主动轮(211)外缠绕有输送带(218),装料架(101)上转动安装有内轴(207),内轴(207)上固定安装有完整齿轮(208)和半齿齿轮(209),外齿轮(206)与完整齿轮(208)啮合,传输架(...

【专利技术属性】
技术研发人员:姬科举吴建铭马海翔王喜鹏邓凯
申请(专利权)人:徐州举力新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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