电子气体分析的预处理装置制造方法及图纸

本技术公开一种电子气体分析的预处理装置，包括汽化罐和分离罐，汽化罐下部分别与进料管线和高纯气体吹扫置换管线连接，管线上设置气动隔膜阀，汽化罐上部与分离罐连接，汽化罐和分离罐之间设置有气动隔膜阀，分离罐的气相出管与去色谱分析管路连接，气相出管上设置有调压阀，调压阀的前后端均设置有压力传感器，去色谱分析管路上设置有手动隔膜阀、气体过滤器和气动隔膜阀。与现有技术相比，本技术电子气体分析的预处理装置能够控制液体的进量，将液体连续完全汽化，并在汽化罐内均匀分布，在汽化器后端设置分离罐，未完全汽化的微小液体在分离罐内分离，确保进入分析系统的样品是气体状态，增加了色谱分析的稳定性和准确性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电子气体，尤其涉及一种电子气体分析的预处理装置。

技术介绍

1、电子气体是半导体工业用的气体统称，对于液态的电子气体分析是需要通过汽化来实现的。汽化装置主要通过减压或者加热进行汽化，例如蒸气加热式汽化器，热水水浴式汽化器，自然通风空浴式气化器，强制通风式汽化器，电加热式汽化器。

2、现有大多数汽化装置对于进入的液体没有很好的控制，也不能够控制汽化量来实现不同工艺的需求，而且逐步汽化导致轻组分和重组分不能同时汽化，造成样品气体不均匀，检测准确度下降。专利cn217820206u公开了一种气相色谱分析仪用预处理装置，设置了一次阀和针阀，对进样量进行限流，但是针阀在管道置换抽真空后存在物料引入空气的风险，对于洁净度要求高的管道，这种方式不能满足分析要求。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本技术提供了一种电子气体分析的预处理装置，能够控制进入汽化罐的液体流量，将液体连续完全汽化，汽化后的气体在汽化罐内均匀分布，在汽化罐后端设置分离罐，未完全汽化的微小液体在分离罐内分离，确保进入分析系统的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子气体分析的预处理装置，包括汽化罐（1）和分离罐（2），其特征在于，汽化罐（1）下部设置有物料进口，物料进口分别与进料管线和高纯气体吹扫置换管线连接，进料管线和高纯气体吹扫置换管线上分别设置有第二气动隔膜阀（5）和第四气动隔膜阀（9），汽化罐（1）上部设置物料出口，物料出口与分离罐（2）连接，汽化罐（1）和分离罐（2）之间设置有第五气动隔膜阀（10），分离罐（2）的气相出管（26）与去色谱分析管路（23）连接，气相出管（26）上设置有调压阀（12），调压阀（12）的前后端分别设置有第一压力传感器（11）和第二压力传感器（13），去色谱分析管路（23）上设置有第二手动隔膜阀（14...

【技术特征摘要】

1.一种电子气体分析的预处理装置，包括汽化罐（1）和分离罐（2），其特征在于，汽化罐（1）下部设置有物料进口，物料进口分别与进料管线和高纯气体吹扫置换管线连接，进料管线和高纯气体吹扫置换管线上分别设置有第二气动隔膜阀（5）和第四气动隔膜阀（9），汽化罐（1）上部设置物料出口，物料出口与分离罐（2）连接，汽化罐（1）和分离罐（2）之间设置有第五气动隔膜阀（10），分离罐（2）的气相出管（26）与去色谱分析管路（23）连接，气相出管（26）上设置有调压阀（12），调压阀（12）的前后端分别设置有第一压力传感器（11）和第二压力传感器（13），去色谱分析管路（23）上设置有第二手动隔膜阀（14）、气体过滤器（15）和第六气动隔膜阀（16）。

2.根据权利要求1所述的电子气体分析的预处理装置，其特征在于，进料管线上还设置有第一气动隔膜阀（3）和流量调节阀（4）。

3.根据权利要求2所述的电子气体分析的预处理装置，其特征在于，流量调节阀（4）为针阀或限流孔板...

【专利技术属性】
技术研发人员：周晓咪，李宁宁，石敬梅，
申请(专利权)人：唐山三孚电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：