【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，尤其涉及基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器。
技术介绍
1、液体浓度传感在医疗保健、遥感、农业和化学等领域应用广泛,利用传感器来检测液体的浓度已经成为一个热门的研究方向。当前，检测液体的方法大多是电化学或者光学方法，这往往使得用来测试的设备十分复杂和繁重，很有必要探索一种更加方便快捷的方法来对待测液体进行测量。最近，用微波传感器来测量液体的浓度的方法已经被提出来了，根据浓度表征技术所依托的微波器件不同，可分为谐振法与非谐振法。非谐振法又进一步分为传输线法、同轴反射法、平行板法，以及自由空间法。与非谐振法相比，谐振法在单频点下表征精度高、灵敏度高，有着更广阔运用空间。
2、尽管有线的微波传感器能够在大多数测试环境中使用，但却无法适应更加复杂和恶劣的环境，在这种环境中，无线微波传感标签具有较大的优势。随着无线技术的发展，对无线微波传感标签的需求正在以惊人的速度增长；然而目前报道的液体传感标签大多采用平面谐振器加载液体的方式，导致灵敏度受限且品质因数较低，从而使传感精度受限。
3、综上所述，有必...
【技术保护点】
1.一种基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器，其特征在于：包括双频背腔缝隙天线（1）、倍频电路（1216）和微流体芯片（113）；
2.根据权利要求1所述的基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器，其特征在于：所述微流体芯片（113）上设有单向导通的微流通道（112），在微流通道（112）上开设有两个孔（1116），分别作为微流通道（112）上的出液孔、入液孔。
3.根据权利要求2所述的基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器，其特征在于：所述第一介质基板（11）上在一圈第一金属化通孔（111）的内侧开设有两个非金属化通孔（119），两个非金属化通孔（...
【技术特征摘要】
1.一种基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器，其特征在于：包括双频背腔缝隙天线（1）、倍频电路（1216）和微流体芯片（113）；
2.根据权利要求1所述的基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器，其特征在于：所述微流体芯片（113）上设有单向导通的微流通道（112），在微流通道（112）上开设有两个孔（1116），分别作为微流通道（112）上的出液孔、入液孔。
3.根据权利要求2所述的基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器，其特征在于：所述第一介质基板（11）上在一圈第一金属化通孔（111）的内侧开设有两个非金属化通孔（119），两个非金属化通孔（119）与所述微流通道（112）的两个孔（1116）一一对应连通。
4.根据权利要求3所述的基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器，其特征在于：所述第一介质基板（11）的顶层金属上设有一条第一共面波导馈电线（117）；在所述第一共面波导馈电线（117）末端开设有第七金属化通孔（1112）；
5.根据权利要求4所述的基于双重入式谐振腔的微流体谐波传感器，其特征在于：所述第一介质基板（11）的顶层金属上刻蚀有一道第一缝隙天线（116）；所述第一介质基板（11）的顶层金属上还设有第一焊盘（f）、第二焊盘（g）和第三焊盘（h）；在第一焊盘（f）和第二焊盘（g）上焊接有第一扼流电感（115），在第二焊盘（g）和第三焊盘（h）上焊接有第一变容二极管（114）；其中，所述第一焊盘（f）、第二焊盘（g）、第三焊盘（h）和第一扼流电感（115）组成第一直流偏置电路；第一变容二极管（114）和第一直流偏置电路组成低频背腔缝隙天线的调频电路；
6.根据权利要求3所述的基于双重入式谐振腔的微流体谐波传...
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