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一种往复式宏微驱动装置制造方法及图纸

技术编号:42247796 阅读:25 留言:0更新日期:2024-08-02 13:57
本发明专利技术公开了一种往复式宏微驱动装置,包括:宏动执行器和微动执行器,宏动执行器的壳体设置在运动输出装置上,微动执行器的壳体设置在基座上,宏动执行器和微动执行器的运动输出杆在末端相互接触,弹性铰链设置在基座和宏动执行器的运动输出杆之间,弹性铰链将宏动执行器的运动输出杆与微动执行器的运动输出杆的末端弹性固定在一起,宏动执行器的运动输出杆与弹性铰链在接触处轴向上的位置保持恒定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于精密驱动,具体涉及一种往复式宏微驱动装置


技术介绍

1、本部分的陈述仅仅是提供了与本专利技术相关的
技术介绍
信息,不必然构成在先技术。

2、宏微运动装置在精密运动控制领域是一种常见的运动装置,宏微运动装置通常由宏动部分和微动部分组成,宏动部分主要用于大行程运动,微动部分主要用于小行程精密定位。宏动部分的执行器件一般选用电动推杆、音圈电机、压电螺钉等,这些执行器件具有行程大但是驱动力较小的特点。微动部分的执行器件一般选用压电陶瓷等,压电陶瓷具有行程小但是驱动力很大的特点。在宏微运动中,需要将宏动的执行器件和微动的执行器件布置在一起,并且要使两者始终接触在一起。现在的做法是在宏动执行器和微动执行器之间直接加装一个压缩弹簧,在运动过程中,宏动执行器运动也需要克服弹簧力才能实现运动,这就使得宏微运动装置的有效输出力大大减小;(参见论文:development andapplications of a two-dimensional tip-tilting stage system with nanoradian-level positio本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种往复式宏微驱动装置,其特征在于,包括:宏动执行器、微动执行器和弹性铰链,宏动执行器的壳体设置在运动输出装置上,微动执行器的壳体设置在基座上,宏动执行器和微动执行器的运动输出杆在末端相互接触,弹性铰链设置在基座和宏动执行器的运动输出杆之间,弹性铰链将宏动执行器的运动输出杆与微动执行器的运动输出杆的末端弹性固定在一起,宏动执行器的运动输出杆与弹性铰链在接触处轴向上的位置保持恒定。

2.如权利要求1所述的往复式宏微驱动装置,其特征在于,所述的宏动执行器为电动推杆、音圈电机或压电螺钉。

3.如权利要求2所述的往复式宏微驱动装置,其特征在于,所述的电动推杆或音圈电机...

【技术特征摘要】

1.一种往复式宏微驱动装置,其特征在于,包括:宏动执行器、微动执行器和弹性铰链,宏动执行器的壳体设置在运动输出装置上,微动执行器的壳体设置在基座上,宏动执行器和微动执行器的运动输出杆在末端相互接触,弹性铰链设置在基座和宏动执行器的运动输出杆之间,弹性铰链将宏动执行器的运动输出杆与微动执行器的运动输出杆的末端弹性固定在一起,宏动执行器的运动输出杆与弹性铰链在接触处轴向上的位置保持恒定。

2.如权利要求1所述的往复式宏微驱动装置,其特征在于,所述的宏动执行器为电动推杆、音圈电机或压电螺钉。

3.如权利要求2所述的往复式宏微驱动装置,其特征在于,所述的电动推杆或音圈电机的运动输出杆与弹性铰链直接固连。

4.如权利要求1所述的往复式宏微驱动装置,其特征在于,所述的宏动执行器为压电螺钉时,其包括外壳、运动输出杆、锁紧座,外壳固定在运动输出装置上,运动输出杆与外壳螺纹连接,运动输出杆旋转,带动外壳相对于基座作直线运动,运动输出杆上设置锁紧座,锁紧座可固定运动输出杆与弹性铰链之间沿轴向方向的位...

【专利技术属性】
技术研发人员:闫鹏江文渊孟令臣于海洋
申请(专利权)人:山东大学
类型:发明
国别省市:

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