一种外置循环过滤烘干槽制造技术

本技术是一种外置循环过滤烘干槽，包括：槽体；引风孔，其开设在槽体底部；进风腔室；进风孔，其开设在进风腔室前侧；若干出风管，其沿槽体长度方向设置在槽体内，且每一出风管均与进风腔室连接；出风孔，其开设在出风管上；过滤泵，其通过管道连接引风孔、进风孔；空气经过滤泵过滤后，通入至进风孔，随后经进风腔室分配至每一出风管，每一出风管上均开设有对硅片进行烘干的出风孔，完成烘干后的气体经槽体底部的引风口重新吸入，进入过滤泵进行二次过滤，最后重新进入至烘干槽内参与烘干；在此过程中，整个装置中的气体呈闭环单向流通，空气不会排出至外界，对环境进行污染，能够实现将排出后的气体通过过滤的方式重新通中槽体内参与烘干。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及硅片烘干装置，特别是一种外置循环过滤烘干槽。

技术介绍

1、当硅片清洗完成后，需要对硅片进行烘干，常规的是通过硅片花篮将硅片置于烘干槽内，随后向槽体内通入气体，通过气流对硅片进行烘干操作；

2、现有烘干槽在烘干过程中往往会遇到以下问题；

3、1、烘干完成后的气体直接排出，对环境产生污染；

4、2、进风孔处需要不断向槽体内通入过滤后的空气；

5、综上，如何能够将排出后的气体通过过滤的方式重新通入槽体内成为了本领域研究人员急需解决的问题。

技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是：如何能够将排出后的气体通过过滤的方式重新通中槽体内参与烘干；

2、为解决上述技术问题，本技术采取的技术方案为：

3、本技术是一种外置循环过滤烘干槽，包括：槽体，其内置有待烘干的硅片；引风孔，其开设在所述槽体底部；进风腔室，其设置在槽体前侧；进风孔，其开设在所述进风腔室前侧；若干出风管，其沿所述槽体长度方向设置在所述槽体内，且每一所述出风管均与所述进风腔室连接；出风孔，其开设在所述出风管上；过滤泵，其通过管道连接所述引风孔、进风孔；

4、在方案中，空气经过滤泵过滤后，通入至进风孔，随后经进风腔室分配至每一出风管，每一出风管上均开设有对硅片进行烘干的出风孔，完成烘干后的气体经槽体底部的引风口重新吸入，进入至过滤泵进行二次过滤，最后重新进入至烘干槽内参与烘干；

5、在此过程中，整个装置中的气体呈闭环单向流通，空气不会排出至外界，对环境进行污染，能够实现将排出后的气体通过过滤的方式重新通中槽体内参与烘干。

6、如何保证出风管上出风口的风压保持一致，本技术采用开设在所述出风管上的所述出风孔沿出风管长度方向，其间距逐渐减小；

7、出风管前侧的出风孔间距较疏，出风管后侧的出风孔间距较密，这样风经过出风管，并从出风孔排出时，风压能够保持一致。

8、为了说明出风管的设置方式，本技术采用出风管包括：设置在所述槽体底部的第一出风管，所述第一出风管上的所述出风孔朝上设置；设置在所述槽体两侧壁的第二出风管，所述第二出风管上的所述出风孔朝向所述槽体中部；

9、槽体底部设置有第一出风管，第一出风管的出风孔朝上设置，槽体左右两侧壁内设置有第二出风管，左侧第二出风管的出风孔向右吹，右侧第二出风管的出风口向左吹，这样设置能够实现对硅片的前面烘干。

10、本技术的有益效果：本技术是一种外置循环过滤烘干槽，空气经过滤泵过滤后，通入至进风孔，随后经进风腔室分配至每一出风管，每一出风管上均开设有对硅片进行烘干的出风孔，完成烘干后的气体经槽体底部的引风口重新吸入，进入至过滤泵进行二次过滤，最后重新进入至烘干槽内参与烘干；在此过程中，整个装置中的气体呈闭环单向流通，空气不会排出至外界，对环境进行污染，能够实现将排出后的气体通过过滤的方式重新通中槽体内参与烘干。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种外置循环过滤烘干槽，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种外置循环过滤烘干槽，其特征在于，所述出风管包括：

【技术特征摘要】

1.一种外置循环过滤烘干槽，其特征在于，包括：

2.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张秀珍，
申请(专利权)人：江苏杰洋能源装备有限公司，
类型：新型
国别省市：