一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器制造技术

本发明专利技术提供了应用于激光器领域的一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器，包括硅基波分复用反射外腔和RSOA芯片阵列，RSOA芯片阵列包括八组等距排布的RSOA芯片，RSOA芯片两端分别镀有高反射膜和抗反射膜，RSOA芯片阵列的内部反射结构为沿腔的增益介质波导，硅基波分复用反射外腔为具有波分复用型反射外腔结构，硅基波分复用反射外腔内设有端口依次耦合连接的干涉型波长交织器和采样光栅，通过干涉型波长交织器的波长交织放大动作避免了增益介质里的模式竞争效应，维持了功率的平均分配和稳定性，本发明专利技术提出的混合集成稳定间隔多波长外腔激光器可产生频率间隔稳定、窄线宽、功率一致性高的多波长激光频率梳齿。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及激光器领域，特别涉及一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器。

技术介绍

1、当芯片尺寸足够小且多波长光源被激发时，可以产生一系列光学频率梳齿，这通常是通过非线性光学效应来实现的，广泛应用于高速光通信、数据中心互连等领域。

2、常见的法布里帕罗多纵模半导体激光器产生一系列不同波长的纵模，但腔内的模式竞争效应导致不同纵模间不平均的能量分配，并引入额外的功率随机抖动，难以应用于波分复用系统。

3、广泛商用的可调谐分布式反馈激光器阵列可产生多波长的激光，但是每个波长通道完全独立，波长间隔无法稳定控制并且受到激光器频率漂移的影响。

4、集成锁模激光器采用主动调制或者谐振腔内的非线性效应打破模式竞争效应，形成相位相干、频率间隔固定的光学频率梳，然而，主动锁模形式往往需要额外的调制器，系统较为复杂，光频梳波长间距往往限制在0.5 nm以内；被动锁模形式需要引入额外的非线性材料，激光器启动过程机制复杂，因此，锁模激光器无法满足一些光通信波分复用、数据中心光波长路由的应用。

5、为解决现有激光器频率间隔稳定性、功率一致本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器，包括硅基波分复用反射外腔（2）和RSOA芯片阵列（1），所述硅基波分复用反射外腔（2）的一端与硅基波分复用反射外腔（2）的边缘耦合，其特征在于，所述RSOA芯片阵列（1）包括多组等距排布的RSOA芯片，所述RSOA芯片的两端分别镀有高反射膜（4）和抗反射膜（5），所述RSOA芯片阵列（1）的内部反射结构为沿腔的增益介质波导（3）；

2.根据权利要求1所述的一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器，其特征在于，所述RSOA芯片阵列（1）的RSOA芯片数量为八组，所述干涉型波长交织器（6）的反射端口数量为八个，八个所述反射端口分别反射选通八个...

【技术特征摘要】

1.一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器，包括硅基波分复用反射外腔（2）和rsoa芯片阵列（1），所述硅基波分复用反射外腔（2）的一端与硅基波分复用反射外腔（2）的边缘耦合，其特征在于，所述rsoa芯片阵列（1）包括多组等距排布的rsoa芯片，所述rsoa芯片的两端分别镀有高反射膜（4）和抗反射膜（5），所述rsoa芯片阵列（1）的内部反射结构为沿腔的增益介质波导（3）；

2.根据权利要求1所述的一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器，其特征在于，所述rsoa芯片阵列（1）的rsoa芯片数量为八组，所述干涉型波长交织器（6）的反射端口数量为八个，八个所述反射端口分别反射选通八个波长的光。

3.根据权利要求1所述的一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器，其特征在于，所述高反射膜（4）的反射率为95%，所述抗反射膜（5）的反射率为0.5%，所述抗反射膜（5）的镀层层数为两层以上。

4.根据权利要求2所述的一种混合集成稳定间隔多波长外腔激光器，其特征在于，所述采样光栅（9）为反射型采样光栅，所述采样光栅（9）的波导分布设有锯齿状微...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴懿霖，王晖，孙向龙，
申请(专利权)人：常州灵动芯光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：