一种槽式硅片烘干装置制造方法及图纸

本技术公开了属于硅片烘干技术领域的一种槽式硅片烘干装置，包括烘干槽，烘干槽的内部设有内槽，内槽与烘干槽之间设有空气流道，烘干槽的底部连接有电机，电机的输出端上连接有位于空气流道内部的叶轮，内槽的底部设有密集的通气孔，空气流道的内部设有两根位于内槽两侧的电加热棒，烘干槽的上端设有若干个排气孔，烘干槽的上方铰接有槽盖，槽盖的底面上连接有风管，风管上设有密集的吹气孔。本技术在槽盖的底面上设置了风管，风管与氮气气源连接，通过吹气孔向下垂直吹风，增加了内部的空气循环，从而可以避免清洗液残留在花篮上，提高硅片的良品率。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于硅片烘干，具体涉及一种槽式硅片烘干装置。

技术介绍

1、在太阳能硅片的槽式清洗设备和槽式湿法处理设备中，需要机械手将装载硅片的承载件，如花篮，依次提放到各个容器内进行化学腐蚀或水清洗处理。在处理结束后往往需要对硅片和承载件进行烘干处理。

2、花篮装载硅片在烘干处理的过程中，花篮底杆和花篮侧板在烘干的过程中会有残留液体。随着光伏自动化技术发展，硅片制程越来越高，残液对硅片导致的污染和不良大幅度上升。

3、因此，亟需一种槽式硅片烘干装置，使在烘干完成后花篮上不残留液体，提高硅片的良品率。

技术实现思路

1、为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种槽式硅片烘干装置，具有在烘干完成后花篮上不残留液体，提高硅片的良品率的特点。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种槽式硅片烘干装置，包括烘干槽，烘干槽的内部设有内槽，内槽与烘干槽之间设有空气流道，烘干槽的底部连接有电机，电机的输出端上连接有位于空气流道内部的叶轮，内槽的底部设有密集的通气孔，空气流道的内部设本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种槽式硅片烘干装置，包括烘干槽，其特征在于：烘干槽的内部设有内槽，内槽与烘干槽之间设有空气流道，烘干槽的底部连接有电机，电机的输出端上连接有位于空气流道内部的叶轮，内槽的底部设有密集的通气孔，空气流道的内部设有两根位于内槽两侧的电加热棒，烘干槽的上端设有若干个排气孔，烘干槽的上方铰接有槽盖，槽盖的底面上连接有风管，风管上设有密集的吹气孔，风管为E形结构，吹气孔设置在三根横管上；

2.根据权利要求1所述的一种槽式硅片烘干装置，其特征在于：所述内槽的底部通过若干根支撑柱与烘干槽连接。

3.根据权利要求1所述的一种槽式硅片烘干装置，其特征在于：所述槽盖的上方连接有...

【技术特征摘要】

1.一种槽式硅片烘干装置，包括烘干槽，其特征在于：烘干槽的内部设有内槽，内槽与烘干槽之间设有空气流道，烘干槽的底部连接有电机，电机的输出端上连接有位于空气流道内部的叶轮，内槽的底部设有密集的通气孔，空气流道的内部设有两根位于内槽两侧的电加热棒，烘干槽的上端设有若干个排气孔，烘干槽的上方铰接有槽盖，槽盖的底面上连接有风管，风管上设有密集的吹气孔，风管为e形结构，吹气孔设置在三根横管上；

2.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：周芳超，李继强，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：新型
国别省市：