【技术实现步骤摘要】
本申请涉及混合气制备的,尤其是涉及一种基于液体原料的气体混合设备及其混合方法。
技术介绍
1、随着现代工业技术的快速发展,高压混合气体在多个领域,如化学、医疗、半导体制造等,都发挥着至关重要的作用,高压混合气体的制备技术直接影响到其应用的性能和效率。
2、液体原料制备混合气体通常先将液体原料通过加热或其他方式使得液体原料汽化,然后将汽化后的气体通入混合室进行混合。
3、混合室内一般加装有振动装置,振动装置通过产生振动,确保混合室内的气体分子处于持续动态状态,但目前大多数混合室内的振动装置安装在底部或某一个位置,从而距离振动装置近的气体的活跃度高于距离振动装置远的气体,由此存在有混合室内不同位置的气体活跃度差异过大。
技术实现思路
1、为了降低混合室内不同位置的气体活跃度差异,本申请提供一种基于液体原料的气体混合设备及其混合方法。
2、第一方面,本申请提供一种基于液体原料的气体混合设备,采用如下技术方案:
3、一种基于液体原料的气体混合设备,包
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【技术保护点】
1.一种基于液体原料的气体混合设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种基于液体原料的气体混合设备,其特征在于:所述振动棒(32)上螺纹连接有基座(5),基座(5)上连接有搅拌棒(51),基座(5)内贯穿设置有限位杆(52)且二者之间滑动适配;
3.根据权利要求2所述的一种基于液体原料的气体混合设备,其特征在于:所述基座(5)上转动连接有转环(53),搅拌棒(51)的一端与转环(53)的外壁相连接,转环(53)的内壁固设有从动齿圈(531),限位杆(52)上连接有与从动齿圈(531)相啮合的主动齿轮(711);
4.根据
...【技术特征摘要】
1.一种基于液体原料的气体混合设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种基于液体原料的气体混合设备,其特征在于:所述振动棒(32)上螺纹连接有基座(5),基座(5)上连接有搅拌棒(51),基座(5)内贯穿设置有限位杆(52)且二者之间滑动适配;
3.根据权利要求2所述的一种基于液体原料的气体混合设备,其特征在于:所述基座(5)上转动连接有转环(53),搅拌棒(51)的一端与转环(53)的外壁相连接,转环(53)的内壁固设有从动齿圈(531),限位杆(52)上连接有与从动齿圈(531)相啮合的主动齿轮(711);
4.根据权利要求3所述的一种基于液体原料的气体混合设备,其特征在于:所述搅拌棒(51)的一端与转环(53)的外壁转动连接,搅拌棒(51)上固定连接有第一传动锥齿轮(511),基座(5)上固定连接有与第一传动锥齿轮(511)相啮合的第二传动锥齿轮(54)。
5.根据权利要求3所述的一种基于液体原料的气体混合设备,其特征在于:所述联动组件(7)包括传动轮(71)和联动块(72),传动轮(71)套设在限位杆(52)上,传动轮(71)与基座(5)之间转动连接,主动齿轮(711)固设在传动轮(71)上,限位杆(52)的外壁螺旋开设有联动槽(521),联动块(72)固设在传动轮(71)的内壁上,且联动块(72)与联动槽(521)滑动适配。
6.根据权利要求2所述的一种基于液体原料的气体混合设备,其...
【专利技术属性】
技术研发人员:卫智虹,王欣,
申请(专利权)人:山西欣宜虹特种气体有限公司,
类型:发明
国别省市:
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