【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空干燥，尤其涉及真空干燥系统及其控制方法。
技术介绍
1、oled（organic light-emitting diode，有机发光二极管）面板制造过程中的干燥技术主要采用空气吹干、烘箱烘干、真空干燥等方法。其中，真空干燥因其高效性和对有机材料的温和处理而受到青睐。
2、然而随着oled面板向更高分辨率和更大尺寸发展， oled面板制造过程中的真空干燥系统在面对快速压力变化时，往往无法及时调整，对于压力变化响应速度较慢。由此导致干燥匀性较差，影响了oled面板的最终质量。
3、上述内容仅用于辅助理解本申请的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。
技术实现思路
1、本申请的主要目的在于提供一种真空干燥系统及其控制方法，旨在解决真空干燥系统对压力变化响应较慢，影响了oled面板的最终质量的技术问题。
2、为实现上述目的，本申请提出一种真空干燥系统，所述真空干燥系统包括干燥腔室、进气组件、抽真空组件、第一出气阀门和第二出气阀门；
...
【技术保护点】
1.一种真空干燥系统，其特征在于，所述真空干燥系统包括干燥腔室、进气组件、抽真空组件、第一出气阀门和第二出气阀门；
2.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述干燥腔室包括腔室主体、冷却组件、基板、加热组件、进气口、出气口和压力传感器；
3.如权利要求2所述的真空干燥系统，其特征在于，所述加热组件包括设置在升降结构上的加热件。
4.如权利要求3所述的真空干燥系统，其特征在于，所述加热件上设置有定位销，用于固定所述基板。
5.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述第一进气阀门包括破真空阀，所述第二进气阀门
...【技术特征摘要】
1.一种真空干燥系统，其特征在于，所述真空干燥系统包括干燥腔室、进气组件、抽真空组件、第一出气阀门和第二出气阀门；
2.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述干燥腔室包括腔室主体、冷却组件、基板、加热组件、进气口、出气口和压力传感器；
3.如权利要求2所述的真空干燥系统，其特征在于，所述加热组件包括设置在升降结构上的加热件。
4.如权利要求3所述的真空干燥系统，其特征在于，所述加热件上设置有定位销，用于固定所述基板。
5.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述第一进气阀门包括破真空阀，所述第二进气阀门包括气体阀；
6.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述抽真空组件包括依...
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