气动微泵及其微流阀控制装置制造方法及图纸

气动微泵及其微流阀控制装置，涉及一种控制装置。提供一种气动微泵及其微流阀控制 装置。设有气动微泵和微流阀控制电路，气动微泵由3个微流阀串接组成，微流阀设有上层、 中间层和下层，上层下部中间部分与中间层之间设有位移腔体，在位移腔体末端设有气体通 道，在下层上部中间部分设有流体通道，上层为聚甲基丙烯酸甲酯充放气层，中间层为聚二 四基硅氧烷膜层，下层为聚甲基丙烯酸酯流体通道层，3个微流阀的流体通道相通。微流阀 控制电路设有USB接口电路、单片机电路、微流阀驱动电路和电源，USB接口电路分别与计 算机、单片机电路和电源连接，单片机电路输出端口接微流阀驱动电路输入端，微流阀驱动 电路输出端分别接3个微流阀的气体通道。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
气动微泵及其微流阀控制装置，其特征在于设有气动微泵和微流阀控制电路，气动微泵由３个微流阀串接组成，微流阀设有上层、中间层和下层，上层下部中间部分与中间层之间设有位移腔体，在位移腔体末端设有气体通道，在下层上部中间部分设有流体通道，上层为聚甲基丙烯酸甲酯充放气层，中间层为聚二四基硅氧烷膜层，下层为聚甲基丙烯酸酯流体通道层，３个微流阀的流体通道相通；微流阀控制电路接３个微流阀的气体通道。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨朝勇，张文华，林水潮，王春明，庄峙厦，周勇亮，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：实用新型
国别省市：92