高频电源装置及高频电力的输出控制方法制造方法及图纸

在使高频脉冲输出的输出电力成为可变的高频电力控制中，根据输出电平的输出电平范围，区分使用直流电压控制和相位差控制，由此减轻在高频电源装置的电源内部被消耗的内部损失所导致的电力转换效率的下降。直流电压控制通过控制供给至放大器的直流电压来控制输出电力。相位差控制通过控制放大器的多个控制信号的相位差φ来控制输出电力。在输出电平范围为高输出电平范围时，通过直流电压控制来控制输出电力，在输出电平范围为低输出电平范围时，通过相位差来控制输出电力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术关于高频电源装置和高频电力的输出控制方法，并关于以2电平以上的多个阶段输出高频的脉冲输出的高频电源装置、以及以多个阶段的输出电平和输出高频的脉冲输出的方法。

技术介绍

1、在高频电源装置中，以高频放大器对高频信号进行电力放大而输出高频的脉冲输出。输出为1kw以上且频率范围为27mhz～100mhz的高频的脉冲输出是被应用于例如半导体制造装置或平面面板显示器(液晶面板、有机面板)制造装置、太阳光面板制造装置、co2激光加工机等的产业用途。

2、在半导体制造过程中，以如将高频电源装置的脉冲输出设为高(high)和低(low)的2电平、或者高(high)和低(low)和零(zero)的3电平的方式，切换成多个阶段而输出的多电平脉冲功能的需求变高。

3、另外，从减少制造成本的生产率的观点、以及减少co2所导致的环境的观点来看，存在要求高效率的电力转换效率的倾向。

4、在放大器中，晶体管的瞬时消耗电力是以瞬时电流与瞬时电压的积表示，瞬时消耗电力的rf-周期积分值的时间平均成为晶体管的时间平均消耗电力。

5、a本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高频电源装置，其特征在于，具备:

2.一种高频电源装置，其特征在于，具备:

3.根据权利要求2所述的高频电源装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的高频电源装置，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的高频电源装置，其特征在于，

6.根据权利要求4或5所述的高频电源装置，其特征在于，

7.根据权利要求4或5所述的高频电源装置，其特征在于，

8.根据权利要求4或5所述的高频电源装置，其特征在于，

9.根据权利要求5所述的高频电源装置，其特征在于，

10.根据权利要求2所述的...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种高频电源装置，其特征在于，具备:

2.一种高频电源装置，其特征在于，具备:

3.根据权利要求2所述的高频电源装置，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的高频电源装置，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的高频电源装置，其特征在于，

6.根据权利要求4或5所述的高频电源装置，其特征在于，

7.根据权利要求4或5所述的高频电源装置，其特征在于，

8.根据权利要求4或5所述的高频电源装置，其特征在于，

9.根据权利要求5所述的高频电源装置，其特征在于，

10.根据权利要求2所述的高频电源装置，其特征在于，

11.根据权利要求1至5中的任一项所述的高频电源装置，其特征在于，

12.一...

【专利技术属性】
技术研发人员：国玉博史，河合悟史，吉田卓矢，
申请(专利权)人：株式会社京三制作所，
类型：发明
国别省市：