【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学，尤其是涉及一种便携式太赫兹固体源干涉仪。
技术介绍
1、等离子体是由带正、负电荷的离子和电子，也可能还有一些中性的原子和分子所组成的集合体。在宏观上一般呈电中性。等离子体可以是固态、液态和气态。电离气体就是一种气态等离子体。等离子体中的基本过程是在电场和磁场的作用下，各种带电粒子间相互作用,引起多种效应。太赫兹激光干涉仪是使用太赫兹波段的光源进行等离子体电子密度测量的仪器，干涉仪系统通过测量等离子体产生的相位变化，计算出等离子体产生的线积分电子密度，这种非接触式的绝对值测量，使得太赫兹激光干涉仪成为等离子体密度诊断最准确可靠的工具之一。
2、目前，等离子体杀菌、等离子体清洗等功能的民用设备，在研究、测试、出厂时都需要等离子体密度测试，进行等离子体详细参数的定标，我国各大等离子体研究实验室也需要等离子体电子密度测量，我国发展的低温等离子研究装置、空间等离子体研究装置等等也需要等离子体密度测量。但是，大部分仪器设备和装置只需要单次或少次的等离子体测量定标，并不需要购入整套干涉仪系统，并且目前太赫兹激光干涉仪系...
【技术保护点】
1.一种便携式太赫兹固体源干涉仪，其特征在于，包括干涉仪箱体、主体光路平台、探测及数据处理平台、等离子体检测平台；
2.如权利要求1所述的便携式太赫兹固体源干涉仪，其特征在于，所述干涉仪光路包括第一分光片、第二分光片、第三分光片、第四分光片、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第一凸反镜、第二凸反镜、第一凹反镜、第二凹反镜；
3.如权利要求2所述的便携式太赫兹固体源干涉仪，其特征在于，所述第一凸反镜和第一凹反镜、所述第二凸反镜和第二凹反镜可以组成两套望远镜系统，通过调节第一凸反镜和第一凹反镜、第二凸反镜和第二凹反镜的距离，可以实现主体光路平台和探测...
【技术特征摘要】
1.一种便携式太赫兹固体源干涉仪，其特征在于，包括干涉仪箱体、主体光路平台、探测及数据处理平台、等离子体检测平台；
2.如权利要求1所述的便携式太赫兹固体源干涉仪，其特征在于，所述干涉仪光路包括第一分光片、第二分光片、第三分光片、第四分光片、第一平面反射镜、第二平面反射镜、第一凸反镜、第二凸反镜、第一凹反镜、第二凹反镜；
3.如权利要求2所述的便携式太赫兹固体源干涉仪，其特征在于，所述第一凸反镜和第一凹反镜、所述第二凸反镜和第二凹反镜可以组成两套望远镜系统，通过调节第一凸反镜和第一凹反镜、第二凸反镜和第二凹反镜的距离，可以实现主体光路平台和探测及数据处理平台之间的光路调节。
4.如权利要求1所述的便携式太赫兹固体源干涉仪，其特征在于，所述第一太赫兹固体源为变频固体源，所述第二太赫兹固体源为定...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘海庆，解家兴，魏学朝，王宏北，张雪梅，
申请(专利权)人：安徽中科太赫兹科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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