试样保持器、试样保持器套件以及试样制作方法技术

技术编号：42109651 阅读：22 留言：0更新日期：2024-07-25 00:32

提供一种能够调整试样的倾斜度的试样保持器。试样保持器(100)包含：保持器主体(10)；试样台(20)，其固定试样(S)；以及第1柱塞(30)和第2柱塞(40)，其作为将试样台(20)可滑动地按压到保持器主体(10)的按压构件，在试样台(20)设置有贯通孔(24)，试样台(20)通过使插入于贯通孔(24)的调整夹具(2)倾斜，来相对于保持器主体(10)倾斜。

全部详细技术资料下载

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及试样保持器、试样保持器套件以及试样制作方法。

技术介绍

1、作为使用离子束对试样进行加工的离子束加工装置，已知用于对试样的截面进行加工的截面抛光机(cross section polisher(注册商标))、用于制作薄膜试样的离子切片机(ion slicer(注册商标))等。

2、例如，专利文献1公开了一种试样加工装置，其以遮蔽板将试样的一部分覆盖，以离子束对试样的未被遮蔽板覆盖的部分进行切削来加工试样的截面。

3、作为由离子束加工装置进行的截面试样制作的预处理，有时会进行机械研磨。在作为截面试样制作的预处理进行的机械研磨中，例如，将试样研磨数百μm左右。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2019-160575号公报

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、在以离子束加工装置或机械研磨装置对试样进行加工的情况下，要调整试样的倾斜度。例如，在以机械研磨装置对试样进行加工的情况下，以使得成为试样的加工目标的面相对于研磨面变为平行的方式调整试样的表面的倾斜度。另外，例如，在使用离子束加工装置对试样进行加工的情况下，调整试样相对于遮蔽板的倾斜度。因此，期望一种能够调整试样的倾斜度的试样保持器。

3、用于解决问题的方案

4、本专利技术的试样保持器的一个方案包含：

5、保持器主体；

6、试样台，其固定试样；以及

7、按压构

8、在所述试样台设置有贯通孔，

9、所述试样台通过使插入于所述贯通孔的棒状构件倾斜，来相对于所述保持器主体倾斜。

10、在这样的试样保持器中，通过使插入于试样台的贯通孔的棒状构件倾斜，能够调整试样台的倾斜度。因此，在这样的试样保持器中，能够调整试样的倾斜度。

11、本专利技术的试样保持器套件的一个方案包含：

12、上述试样保持器；以及

13、上述棒状构件。

14、本专利技术的试样制作方法的一个方案包含：

15、将试样固定到试样台的工序；

16、将固定有所述试样的所述试样台以按压构件可滑动地按压到保持器主体的工序；以及

17、在设置于所述试样台的贯通孔中插入棒状构件，通过使所述棒状构件倾斜来调整所述试样台的倾斜度的工序。

18、在这样的试样制作方法中，通过使插入于试样台的贯通孔的棒状构件倾斜，能够调整试样台的倾斜度。因此，在这样的试样制作方法中，能够调整试样的倾斜度。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种试样保持器，其特征在于，包含：

2.根据权利要求1所述的试样保持器，其中，

3.根据权利要求1所述的试样保持器，其中，

4.根据权利要求1所述的试样保持器，其中，

5.根据权利要求4所述的试样保持器，其中，

6.根据权利要求4所述的试样保持器，其中，

7.根据权利要求1所述的试样保持器，其中，

8.根据权利要求1所述的试样保持器，其中，

9.根据权利要求1所述的试样保持器，其中，

10.一种试样保持器套件，其特征在于，包含：

11.一种试样制作方法，其特征在于，包含：

12.根据权利要求11所述的试样制作方法，其中，

13.根据权利要求12所述的试样制作方法，其中，

14.根据权利要求12所述的试样制作方法，其中，

15.根据权利要求11所述的试样制作方法，其中，

16.根据权利要求11所述的试样制作方法，其中，

【技术特征摘要】