【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于超分辨率成像领域，具体涉及了一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统。
技术介绍
1、亚表面纳米特征的无损超分辨率成像在原子精度超精密制造、集成电子电路质检、核心器件失效分析、功能材料物性表征和亚细胞器结构动态检测等领域中发挥着至关重要的作用，但现有无损检测成像技术的有限横向分辨率限制了对感兴趣亚表面纳米特征的检出及关注机理的理解。
2、现有的亚表面特征超分辨率成像技术主要有扫描隧道显微镜(stm)、原子力显微镜(afm)、扫描微形变显微镜(smm)、超声力显微镜(ufm)、声原子力显微镜(afam)、超声原子力显微镜(uafm)、外差力显微镜(hfm)、扫描近场超声全息术(snfuh)等，受限于现有无损成像体系中探针-针尖之间的非线性作用、悬臂探针难以达到很高的谐振频率等都进一步加大了提高横向分辨率的难度。在扫描近场超声全息术(snfuh)中，可达到10nm横向分辨率，针对一些内嵌特征和主体材料明显不同的亚表面特征，可达到5~8nm的横向分辨率。而对纳米复合材料、二维材料、半导体器件和细胞生物的表征和有关机理...
【技术保护点】
1.一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统，其特征在于：所述的信号激励模块主要由隧穿电极（7）、锁相放大器（8）和信号发生器（9）组成；锁相放大器（8）和信号发生器（9）均与计算机（1）之间电连接，计算机（1）控制锁相放大器（8）和信号发生器（9）分别产生直流偏置电压和正弦激励信号；
3.根据权利要求2所述的一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统，其特征在于：所述信号发生器（9）输出的正弦激励信号通过信号线传输至锁相放大器（8），所述正弦激励信号用于对锁相放大器...
【技术特征摘要】
1.一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统，其特征在于：所述的信号激励模块主要由隧穿电极（7）、锁相放大器（8）和信号发生器（9）组成；锁相放大器（8）和信号发生器（9）均与计算机（1）之间电连接，计算机（1）控制锁相放大器（8）和信号发生器（9）分别产生直流偏置电压和正弦激励信号；
3.根据权利要求2所述的一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统，其特征在于：所述信号发生器（9）输出的正弦激励信号通过信号线传输至锁相放大器（8），所述正弦激励信号用于对锁相放大器（8）中的超声扰动量子隧穿电流信号进行解调，以获取超声干扰隧穿电流信号解调后的幅值、相位和频率，接着超声扰动量子隧穿电流信号的幅值、相位和频率分别通过三根数据线传输至计算机（1）中。
4.根据权利要求1所述的一种用于亚表面结构检测的超声量子成像系统，其特征在于：所述的超声量子成像系统还包括控制器（2），控制器（2）的两端分别与计算机（1）和x-y-z轴扫描台（3）连接，计算机（1）通过控制器（2）控制x-y-z轴扫描台（3）在x-y-z轴方向的移...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈剑，田野，唐龙华，曾标峰，江涛，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：
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