【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于陶瓷涂层制备，具体地说是一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法。
技术介绍
1、氮化铝陶瓷具有高热导率，较小的热膨胀系数，同时具有高强、高硬、高耐磨、高耐腐蚀等特点。其高热导率可以应用于大规模集成电路基板、高功率半导体晶体管、金属基换热器、坩埚以及浇铸模具等工件的散热问题。同时其优异的耐腐蚀及力学性能还可以用于腐蚀及应力环境下金属的保护。以氮化铝陶瓷涂层的形式作为散热材料沉积到被保护或需要散热的基体上节约了材料的同时也方便其与其他材料的复合。目前氮化铝陶瓷涂层的原料大多为粉体材料。粉体制备的方法集中于球磨、自蔓延高温合成、溶胶凝胶法和水热合成法等。球磨法制取的粉体具有很宽的粒径分布，会恶化陶瓷涂层的各种性能；自蔓延高温合成法制取的粉体极易团聚，且很难制备纳米级别的氮化铝粉体；溶胶凝胶法和水热合成法作为湿化学方法有效避免了团聚且可以制取纳米粉体，但是氮化铝粉体在湿法化学中对合成的原料选取要求很高，可供选择的反应物较少，反应较复杂，成本较高。目前沉积工艺主要集中于超音速等离子体喷涂、多靶共溅射、热涂覆、电泳等技术。其中超音速等离子喷涂成...
【技术保护点】
1.一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：在步骤S1中，所述氧化铝凝胶的制备步骤具体如下：
3.如权利要求2所述一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：所述仲丁醇铝铝源的水解会涉及以下方程式：
4.如权利要求1所述一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：在步骤S3中，所述超临界干燥过程如下：将S2中的混合物倒入干燥釜的样品室中进行醇凝胶的超临界干燥，干燥时间为2h，除去凝胶中的有机物；与此同时尿素吸收醇凝胶中的水发生水解，在铝醇凝胶的催化作用下在干...
【技术特征摘要】
1.一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：在步骤s1中，所述氧化铝凝胶的制备步骤具体如下：
3.如权利要求2所述一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：所述仲丁醇铝铝源的水解会涉及以下方程式：
4.如权利要求1所述一种氮化铝陶瓷涂层的制备方法，其特征在于：在步骤s3中，所述超临界干燥过程如下：将s2中的混合物倒入干燥釜的样品室中进行醇凝胶的超临界干燥，干燥时间为2h，除去凝胶中的有机物；与此同时尿素吸收醇凝胶中的水发生水解，在铝醇凝胶的催化作用下在干燥釜中生成nh3和co2气体，生成的气体随超临界二氧化碳气体排出干燥釜，最后利用密度差进行分离，获得副产物氨气，分离出的二氧化碳净化后进入干燥釜循环使用；
5.如权利要求4所述一种氮...
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