一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置制造方法及图纸

技术编号:42104061 阅读:19 留言:0更新日期:2024-07-25 00:28
本发明专利技术公开了一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置,包括光电离源、反应管、进样管、过渡腔、电子轰击电离源、质谱腔、质谱探测器、过渡腔分子泵、质谱腔分子泵、前级泵、气体处理装置;光电离源、反应管、过渡腔和质谱腔同轴心分布,中间通过同轴心小孔相通;进样管与反应管相连;进样管的外壁设置有气体处理装置,气体处理装置包括半导体制冷片、除湿环、第一热管、加热环、第二热管,除湿环和加热环套设在所述进样管的外壁上。本发明专利技术同时具备两种电离源,通过双源的切换工作,并针对不同的电离方式对样品气体进行不同的除湿和加热处理,实现密闭空间内气体成分的全覆盖在线实时监测,可以对于密闭空间内空气污染物实时监测预警。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于分析检测领域,具体涉及一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置


技术介绍

1、密闭空间在工业安全防护规则中,专指某个密封闭塞的现场环境,常见的场景有船舶舱室和机房、巷道、矿井等。密闭空间内的空气污染通常无法自然消散,因而存在较大的危险性。密闭空间内的气体污染物种类繁多,包括诸如h2s、nh3等具有刺激性气味的气体,诸如苯系物等有毒有害的挥发性有机物,以及co、co2、o2等影响人体呼吸系统的无机气体。因此,密闭空间内气体成分和浓度的检测对于空间内作业人员的安全保障至关重要。

2、目前,密闭空间内气体成分的检测主要依赖于多种类型的气体传感器技术。该技术具有便携、低成本等特点,但单个传感器只能检测某一种或几种气体组分,即使多种传感器协同使用,仍然很难覆盖密闭空间内种类繁多的气体组分。气相色谱质谱(gc-ms)技术因其检测物种范围宽,近年来也被用于密闭空间内气体组分的检测。然而,耗时的色谱分离过程使其单次检测时间在几十分钟以上,无法实现在线实时监测。质谱分析技术因其高灵敏度和高分辨率,被认为是密闭空间内气体成分在线实时监测的理想选择。然而本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置,其特征在于:包括光电离源(1)、反应管(2)、进样管(3)、过渡腔(4)、电子轰击电离源(5)、质谱腔(6)、质谱探测器(7)、过渡腔分子泵(8)、质谱腔分子泵(9)、前级泵(10)、气体处理装置(11);所述光电离源(1)、反应管(2)、过渡腔(4)和质谱腔(6)同轴心分布,中间通过同轴心小孔相通;所述的进样管(3)与反应管(2)相连;所述进样管(3)的外壁设置有气体处理装置(11),所述气体处理装置(11)包括半导体制冷片(12)、除湿环(13)、第一热管(14)、加热环(15)、第二热管(16),所述半导体制冷片(12)的冷端下侧设置有...

【技术特征摘要】

1.一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置,其特征在于:包括光电离源(1)、反应管(2)、进样管(3)、过渡腔(4)、电子轰击电离源(5)、质谱腔(6)、质谱探测器(7)、过渡腔分子泵(8)、质谱腔分子泵(9)、前级泵(10)、气体处理装置(11);所述光电离源(1)、反应管(2)、过渡腔(4)和质谱腔(6)同轴心分布,中间通过同轴心小孔相通;所述的进样管(3)与反应管(2)相连;所述进样管(3)的外壁设置有气体处理装置(11),所述气体处理装置(11)包括半导体制冷片(12)、除湿环(13)、第一热管(14)、加热环(15)、第二热管(16),所述半导体制冷片(12)的冷端下侧设置有除湿环(13)和第一热管(14),所述除湿环(13)的上端形成有缺口,所述第一热管的第一端位于所述缺口中,所述第一热管(14)的第二端与所述电子轰击电离源(5)的散热板接触,所述除湿环(13)和第一热管(14)的第一端的上表面与半导体制冷片(12)的冷端存在间隙(17),所述半导体制冷片(12)的热端通过第二热管(16)连接至加热环(15),所述除湿环(13)和加热环(15)套设在所述进样管(3)的外壁上;所述质谱探测器(7)位于质谱腔(6)内部,离子检测入口与质谱腔(6)左端小孔同轴心;所述电子轰击电离源(5)位于质谱探测器(7)内部,所述电子轰击电离源(5)的离子入口与质谱腔(6)左端小孔同轴心;所述过渡腔分子泵(8)的入口与过渡腔(4)相连,质谱腔分子泵(9)的入口与质谱腔(6)相连,过渡腔分子泵(8)和质谱腔分子泵(9)的出口均与前级泵(10)的入口相连。

2.根据权利要求1所述的一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置,其特征在于:所述光电离源(1)是直流供电灯或射频供电灯,光子能量10.6ev的氪灯或11.8ev的氩灯。

3.根据权利要求1所述的一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置,其特征在于:所述反应管(2)为圆环电极内径不变的反应管,或圆环电极内径逐渐缩小的离子漏斗反应管。

4.根据权利要求1所述的一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置,其特征在于:所述电子轰击电离源(5)发射的电子能量在0-70 ev之间,电子轰击电离源(5)左侧和右侧均设有传输光电离产物离子的传输孔。

5.根据权利要求1所述的一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置,其特征在于:所述进样管(3)的保温管段做保温处理,温度在40℃-90℃之间。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的一种密闭空间内气体成分的在线质谱检测装置,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵磊徐巍王学军王世锋邹军刘平小阮炜唐辉
申请(专利权)人:中国船舶集团有限公司第七一九研究所
类型:发明
国别省市:

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