System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种适用于FDSOI器件总剂量效应的加固电路制造技术_技高网

一种适用于FDSOI器件总剂量效应的加固电路制造技术

技术编号:42100999 阅读:13 留言:0更新日期:2024-07-25 00:27
本发明专利技术提供适用于FDSOI器件总剂量效应的加固电路,涉及半导体技术领域。此电路包括:阈值电压测量电路、比较器电路和反压电荷泵电路,阈值电压测量电路分别与比较器电路和反压电荷泵电路连接,比较器电路与反压电荷泵电路连接。这样,通过阈值电压测量电路实时监测器件的阈值电压,通过比较器电路将阈值电压与参考电压比较以输出比较电压,在比较电压为高电平时,高电平比较电压控制反压电荷泵电路产生负背栅偏置电压,从而对器件的阈值电压进行调节,来改善总剂量效应对器件产生的影响。该电路可直接在器件所应用到的集成电路上对电路进行改善,不需要将集成电路推翻重做,使得对FDSOI器件总剂量效应的加固所需的时间短以及成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体,尤其涉及一种适用于全耗尽绝缘体上硅(fullydepleted silicon on insulator,fdsoi)器件总剂量效应的加固电路。


技术介绍

1、随着摩尔定律的发展,fdsoi借助埋氧层上超薄的硅膜和独有的体偏置技术,具有更低的电容、结漏电和良好的抗辐照性能,这使得通过fdsoi工艺制备的fdsoi器件,在航空、航天等领域中成为不可或缺的重要选择。长期工作在辐照环境下的fdsoi器件,其电学性能会发生扰动和退化,从而导致整个集成电路系统失效。其中,由高能射线及带电粒子引起电子器件内部电离,导致器件电学性能退化的累积效应称为总剂量(total ionizingdose,tid)效应,总剂量效应是影响电子器件寿命的主要因素且无法消除。这就需要对fdsoi器件进行总剂量效应的加固,来改善总剂量效应对fdsoi器件产生的影响。

2、目前,对fdsoi器件总剂量效应的加固实现方式为,对fdsoi器件进行加固,具体是对fdsoi器件使用不同形状的栅极、加入p+掺杂、加入牺牲层等。然而,加固fdsoi器件需要对fdsoi器件的结构本身进行改变,需要加入不同掩膜板和使用不同的工艺。这就需要将fdsoi器件应用到的集成电路板推翻重新做,导致对fdsoi器件总剂量效应的加固,所需的时间较长以及成本较高。


技术实现思路

1、本专利技术实施例的目的是提供一种适用于fdsoi器件总剂量效应的加固电路,解决对fdsoi器件总剂量效应的加固,所需的时间较长以及成本较高的问题。

2、为解决上述技术问题,本专利技术实施例提供如下技术方案:

3、本专利技术第一方面提供一种适用于fdsoi器件总剂量效应的加固电路,路包括:阈值电压测量电路、比较器电路和反压电荷泵电路,

4、阈值电压测量电路分别与比较器电路和反压电荷泵电路连接,阈值电压测量电路用于监测fdsoi器件的阈值电压;

5、比较器电路与反压电荷泵电路连接,比较器电路用于将阈值电压与参考电压进行比较,输出比较电压,反压电荷泵电路用于在比较电压为高电平时,根据比较电压产生负背栅偏置电压,并根据负背栅偏置电压对阈值电压进行调节。

6、在本专利技术第一方面的一些变更实施方式中,阈值电压测量电路包括产生模块电路,产生模块电路包括mos管m1、mos管m2、mos管m3、mos管m4、mos管m5、电流源ibias、电容c1、缓冲器、sn高电平脉冲电路和sp低电平脉冲电路,mos管m1、mos管m2、mos管m3、mos管m4和mos管m5构成电流镜电路;

7、mos管m1的栅极与输入端vg连接,mos管m1的源极与地电位gnd连接,mos管m1的漏级分别与mos管m2的漏级、mos管m2的栅极和mos管m3的栅极连接;

8、mos管m2的栅极与mos管m3的栅极连接,mos管m2的源极与电源电位vdd连接;

9、mos管m3的源极与电源电位vdd连接,mos管m3的漏极分别与mos管m4的漏级、mos管m4的栅极和mos管m5的栅极连接;

10、mos管m4的栅极与mos管m5的栅极连接,mos管m4的漏极与mos管m5的栅极连接,mos管m4的源极与地电位gnd连接;

11、mos管m5的源极与地电位gnd连接,mos管m5的漏极分别与电流源ibias的负极、电容c1的vm端和缓冲器的输入端连接;

12、电流源ibias的正极与电源电位vdd连接,电容c1的远离vm端的一端与地电位gnd连接,缓冲器的输出端与sn高电平脉冲电路的输入端vq连接,sn高电平脉冲电路的输出端vsn与sp低电平脉冲电路的输入端连接;

13、mos管m1的背栅电极vbg与反压电荷泵电路的输出端vbgf连接。

14、在本专利技术第一方面的一些变更实施方式中,阈值电压测量电路还包括测量模块电路,测量模块电路包括衬底选择电路、mos管m6、mos管m7、电容c2,

15、衬底选择电路的一端分别与输入端vg、mos管m1的栅极、mos管m6的源极连接,衬底选择电路的另一端分别与mos管m6的漏极、电容c2的靠近输出阈值电压vth的一端和mos管m7的漏极连接;

16、mos管m6的源极分别与输入端vg、mos管m1的栅极连接,mos管m6的栅极与sp低电平脉冲电路的输出端vsp连接,mos管m6的漏极分别与电容c2的靠近输出阈值电压vth的一端、mos管m7的漏极连接;

17、mos管m7的漏极与电容c2的靠近输出阈值电压vth的一端连接,mos管m7的源极与地电位gnd连接,mos管m7的栅极与sn高电平脉冲电路的输出端vsn连接,电容c2的远离输出阈值电压vth的一端与地电位gnd连接;

18、输出阈值电压vth的输出端与比较器电路连接。

19、在本专利技术第一方面的一些变更实施方式中,产生模块电路用于在输入端vg输入预设三角波时,通过电流镜电路对mos管m1的漏极电流ids进行复制并输出,并将电流ids与预设电流进行比较,在电流ids小于预设电流时,对电容c1充电则输入端vq为高电平,在电流ids大于预设电流时,对电容c1放电则输入端vq为低电平,vm端产生下降沿和高电平脉冲sn,高电平脉冲sn输入到sp低电平脉冲电路产生低电平脉冲sp。

20、在本专利技术第一方面的一些变更实施方式中,测量模块电路用于在接收到高电平脉冲sn时,mos管m7导通,电容c2放电,输出阈值电压vth为低电平;在接收到低电平脉冲sp时,mos管m8导通,电容c2充电,输出阈值电压vth等于电容c2的电压。

21、在本专利技术第一方面的一些变更实施方式中,比较器电路包括mos管m14、mos管m15、mos管m16、mos管m17、mos管m18、mos管m19、mos管m20、mos管m21、电流源ibias和电容cl,

22、mos管m14的栅极与输入输出阈值电压vth的输入端vin-连接,mos管m14的源极分别与mos管m15的源极、mos管m18的漏极连接,mos管m14的漏极分别与mos管m16的漏极、mos管m16的栅极和mos管m17的源极连接;

23、mos管m15的栅极与输入参考电压的输入端vin+连接,mos管m15的源极与mos管m18的漏极连接,mos管m15的漏极分别与mos管m17的漏极、mos管m19的栅极连接;

24、mos管m16的漏极与mos管m17的栅极连接,mos管m16的源极与电源电位vdd连接,mos管m16的栅极与mos管m17的栅极连接;

25、mos管m17的源极与电源电位vdd连接,mos管m17的漏极与mos管m19的栅极连接;

26、mos管m18的栅极分别与mos管m21的栅极、mos管m21的漏极、电流源ibias的负极和mos管m20的栅极连接,mos管m18的源极与地电位gnd连本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适用于FDSOI器件总剂量效应的加固电路,其特征在于,所述电路包括:阈值电压测量电路、比较器电路和反压电荷泵电路,

2.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,所述阈值电压测量电路包括产生模块电路,所述产生模块电路包括MOS管M1、MOS管M2、MOS管M3、MOS管M4、MOS管M5、电流源Ibias、电容C1、缓冲器、SN高电平脉冲电路和SP低电平脉冲电路,所述MOS管M1、所述MOS管M2、所述MOS管M3、所述MOS管M4和所述MOS管M5构成电流镜电路;

3.根据权利要求2所述的电路,其特征在于,所述阈值电压测量电路还包括测量模块电路,所述测量模块电路包括衬底选择电路、MOS管M6、MOS管M7、电容C2,

4.根据权利要求3所述的电路,其特征在于,所述产生模块电路用于在所述输入端VG输入预设三角波时,通过所述电流镜电路对MOS管M1的漏极电流Ids进行复制并输出,并将所述电流Ids与预设电流进行比较,在所述电流Ids小于所述预设电流时,对所述电容C1充电则输入端VQ为高电平,在所述电流Ids大于所述预设电流时,对所述电容C1放电则输入端VQ为低电平,所述VM端产生下降沿和高电平脉冲SN,所述高电平脉冲SN输入到所述SP低电平脉冲电路产生低电平脉冲SP。

5.根据权利要求4所述的电路,其特征在于,所述测量模块电路用于在接收到高电平脉冲SN时,所述MOS管M7导通,所述电容C2放电,所述输出阈值电压VTH为低电平;在接收到所述低电平脉冲SP时,所述MOS管M6导通,所述电容C2充电,所述输出阈值电压VTH等于所述电容C2的电压。

6.根据权利要求5所述的电路,其特征在于,所述比较器电路包括MOS管M14、MOS管M15、MOS管M16、MOS管M17、MOS管M18、MOS管M19、MOS管M20、MOS管M21、电流源Ibias和电容CL,

7.根据权利要求6所述的电路,其特征在于,所述比较器电路用于当所述阈值电压VTH小于所述参考电压时,所述MOS管M14截至,所述MOS管M16截至,所述MOS管M17截至,从所述电源电位VDD中不抽取电流,所述MOS管M15和所述MOS管M18工作在深三极管区,电流为0,则所述MOS管M19的栅极处的电压Vo1为0,则所述比较器电路的输出端Vout输出的所述比较电压VBJQ为高电平;当所述阈值电压VTH大于所述参考电压时,所述MOS管M15的栅极电压小于所述MOS管M15的阈值电压,所述MOS管M15的阈值电压截至,所述MOS管M14、所述MOS管M16和所述MOS管M18工作在饱和区,所述MOS管M17位于深三极管区,所述电压Vo1为所述电源电位VDD的电压,则所述比较电压VBJQ为低电平。

8.根据权利要求7所述的电路,其特征在于,所述反压电荷泵电路包括与非门、延时电路、输入时钟CLK0、输入时钟CLK1、输入时钟CLK2、MOS管M22、MOS管M23、MOS管M24、MOS管M25、电容C3、电容C4,

9.根据权利要求8所述的电路,其特征在于,所述反压电荷泵电路用于在所述比较电压VBJQ为所述高电平的情况下,当所述CLK1为低电平,所述CLK2为高电平时,所述MOS管M22、所述MOS管M24导通,所述电源电位VDD给所述电容C4充电,当所述电容C4充电结束时所述电容C4被充满电,则所述MOS管M23的电压为所述电源电位VDD,当所述CLK1为高电平,所述CLK2为低电平时,所述MOS管M23和所述MOS管M25导通,所述电容C4上的电荷转移到所述电容C3上,使得所述输出端Vbgf的所述负背栅偏置电压为负的所述MOS管M23的电压,将所述负背栅偏置电压作为所述阈值电压测量电路的输入,调节所述阈值电压,直到所述阈值电压为设定电压时停止调节所述阈值电压。

10.根据权利要求3所述的电路,其特征在于,所述衬底选择电路包括MOS管M8、MOS管M9,

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【技术特征摘要】

1.一种适用于fdsoi器件总剂量效应的加固电路,其特征在于,所述电路包括:阈值电压测量电路、比较器电路和反压电荷泵电路,

2.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,所述阈值电压测量电路包括产生模块电路,所述产生模块电路包括mos管m1、mos管m2、mos管m3、mos管m4、mos管m5、电流源ibias、电容c1、缓冲器、sn高电平脉冲电路和sp低电平脉冲电路,所述mos管m1、所述mos管m2、所述mos管m3、所述mos管m4和所述mos管m5构成电流镜电路;

3.根据权利要求2所述的电路,其特征在于,所述阈值电压测量电路还包括测量模块电路,所述测量模块电路包括衬底选择电路、mos管m6、mos管m7、电容c2,

4.根据权利要求3所述的电路,其特征在于,所述产生模块电路用于在所述输入端vg输入预设三角波时,通过所述电流镜电路对mos管m1的漏极电流ids进行复制并输出,并将所述电流ids与预设电流进行比较,在所述电流ids小于所述预设电流时,对所述电容c1充电则输入端vq为高电平,在所述电流ids大于所述预设电流时,对所述电容c1放电则输入端vq为低电平,所述vm端产生下降沿和高电平脉冲sn,所述高电平脉冲sn输入到所述sp低电平脉冲电路产生低电平脉冲sp。

5.根据权利要求4所述的电路,其特征在于,所述测量模块电路用于在接收到高电平脉冲sn时,所述mos管m7导通,所述电容c2放电,所述输出阈值电压vth为低电平;在接收到所述低电平脉冲sp时,所述mos管m6导通,所述电容c2充电,所述输出阈值电压vth等于所述电容c2的电压。

6.根据权利要求5所述的电路,其特征在于,所述比较器电路包括mos管m14、mos管m15、mos管m16、mos管m17、mos管m18、mos管m19、mos管m20、mos管m21、电流源ibias和电容cl,

7.根据权利要求6所述的电路,...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘红侠高田芝刘昌王树龙陈树鹏
申请(专利权)人:西安电子科技大学
类型:发明
国别省市:

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