【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种光罩自动更换的装置。
技术介绍
1、在半导体的制作过程中，经常需要利用光罩开合器对光罩使用盒内的光罩进行更换，如果光罩更换过程中光罩出现异常，那么对应的工艺制程只能暂停，且光罩购买成本较高，因此，需要对光罩更换过程严格管控。
2、而在光罩更换领域的现有技术中，操作人员将光罩使用盒放在光罩开合器上，通过光罩开合器分离光罩使用盒的底座和盒盖，操作人员将盒盖取走后，用夹具手动夹取光罩，再转移到对应的光罩存放盒中，同时将正确的光照存放盒中的光罩夹取至光罩使用盒，最后通过光罩开合器完成光罩使用盒的安装。
3、但是在这个过程中，操作人员需要进行两次手动夹取操作，而手动夹取光罩有可能对光罩造成划伤，并且手动操作过程中，存在光罩掉落风险。
4、因此，针对上述问题，提供一种光罩自动更换的装置，是本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术的不足，提供一种光罩自动更换的装置。
2、本技术的目的是通过...
【技术保护点】
1.一种光罩自动更换的装置，其特征在于：包括设备操作平台，所述设备操作平台上设置有光罩开合器、光罩存放盒、以及位于光罩开合器和光照存放盒正中间的机械臂；
2.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述光罩开合器和光罩存放盒通过对应的夹角块组固定在设备操作平台上。
3.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述机械臂还包括驱动竖直前端旋转的第一动力驱动部件，所述第一动力驱动部件包括第一电机、第一主动齿轮和第一从动齿轮，所述第一电机的驱动端与第一主动齿轮连接、且所述第一主动齿轮和第一从动齿轮相啮合；所述第一主动齿...
【技术特征摘要】
1.一种光罩自动更换的装置，其特征在于：包括设备操作平台，所述设备操作平台上设置有光罩开合器、光罩存放盒、以及位于光罩开合器和光照存放盒正中间的机械臂；
2.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述光罩开合器和光罩存放盒通过对应的夹角块组固定在设备操作平台上。
3.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述机械臂还包括驱动竖直前端旋转的第一动力驱动部件，所述第一动力驱动部件包括第一电机、第一主动齿轮和第一从动齿轮，所述第一电机的驱动端与第一主动齿轮连接、且所述第一主动齿轮和第一从动齿轮相啮合；所述第一主动齿轮和第一从动齿轮均为环状齿轮，第一从动齿轮环设于竖直前端底部。
4.根据权利要求1所述的一种光罩自动更换的装置，其特征在于：所述机械臂还包括驱动连接中端升降移动的第二动力驱动部件，所述第二动力驱动部件包括第二电机、...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄仁贵，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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