【技术实现步骤摘要】
本技术涉及曝光机，具体为一种曝光机辅助上料装置。
技术介绍
1、曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，它常用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。现有的大多曝光机的上料方式仍然依靠人工进行上料，这种方式的工作效率较低，浪费了较多的人力资源，且失误率较高。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中所存在的上述缺陷，本技术提供了一种曝光机辅助上料装置。
2、一种曝光机辅助上料装置，包括机架，所述机架上设有输送平台，所述输送平台的顶部设有上料组件，机架上连接有输送组件，所述输送组件包括用于承托输送小车的翻转架，所述翻转架与输送小车连接，所述上料组件用于将输送小车中物料板取出，所述上料组件包括位于输送平台顶部的滑板。
3、进一步的，所述输送小车为顶部开口结构，所述输送小车的两个相对的内侧壁上...
【技术保护点】
1.一种曝光机辅助上料装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上设有输送平台(2)，所述输送平台(2)的顶部设有上料组件，机架(1)上连接有输送组件，所述输送组件包括用于承托输送小车(4)的翻转架(3)，所述翻转架(3)与输送小车(4)连接，所述上料组件用于将输送小车(4)中物料板(6)取出，所述上料组件包括位于输送平台(2)顶部的滑板(22)。
2.根据权利要求1所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述输送小车(4)为顶部开口结构，所述输送小车(4)的两个相对的内侧壁上均固定安装有栅格架(5)，所述物料板(6)插入栅格架(5)的空隙中。p>
3.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种曝光机辅助上料装置，包括机架(1)，其特征在于，所述机架(1)上设有输送平台(2)，所述输送平台(2)的顶部设有上料组件，机架(1)上连接有输送组件，所述输送组件包括用于承托输送小车(4)的翻转架(3)，所述翻转架(3)与输送小车(4)连接，所述上料组件用于将输送小车(4)中物料板(6)取出，所述上料组件包括位于输送平台(2)顶部的滑板(22)。
2.根据权利要求1所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述输送小车(4)为顶部开口结构，所述输送小车(4)的两个相对的内侧壁上均固定安装有栅格架(5)，所述物料板(6)插入栅格架(5)的空隙中。
3.根据权利要求2所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述翻转架(3)与升降组件连接，所述升降组件包括固定安装在机架(1)上的第一驱动电机(7)，所述第一驱动电机(7)的输出端与第一锥形齿轮(8)连接，所述第一锥形齿轮(8)与第二锥形齿轮(9)啮合，所述第二锥形齿轮(9)与第一丝杠(10)的顶部连接，所述机架(1)的侧部设有安装槽(11)，所述第一丝杠(10)向下延伸与安装槽(11)的底壁连接，所述安装槽(11)上远离第一丝杠(10)的一端设有光杆(12)，所述翻转架(3)的顶部设有转轴(13)，所述转轴(13)的两端分别设有第一滑块(14)和第二滑块(15)，所述第一滑块(14)与第一丝杠(10)螺纹配合连接，所述第二滑块(15)与光杆(12)滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种曝光机辅助上料装置，其特征在于，所述翻转架(3)为l型结构，所述翻转架(3)的侧板(32)上设有若干定位槽(16)，所述定位槽(16)内设有磁铁，所述输送小车(4)上设有与定位槽(16)对应的定位柱(17)。
5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：王云鹏，王海英，郭世玲，
申请(专利权)人：青岛皖誉包装材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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