一种带测高标记部的基板及基板对贴测高装置制造方法及图纸

技术编号:42068701 阅读:15 留言:0更新日期:2024-07-19 16:51
本技术公开了一种带测高标记部的基板及基板对贴测高装置,所述基板的顶面或所述基板的底面设置有若干个测高标记部;所述若干个测高标记部沿圆周方向均匀排布在所述基板的边缘部分;所述基板上任一侧边边缘部分设置有至少一个所述测高标记部。通过在基板上设置测高标记部,避免激光直接透过基板材质,在两个基板对贴时,可以通过测量两个基板上的测高标记部检测基板之间的对贴高度,从而提高激光测距的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本技术主要涉及芯片,具体涉及一种带测高标记部的基板及基板对贴测高装置


技术介绍

1、目前的led芯片在制备和研究过程中,涉及cow(chip on wafer)临时载板贴合样品、bqd(backlight-qd color filter-display)对贴样本等操作,需要精准测量对贴后的高度参数进行工艺效果的评估,现有的测高装置一般通过激光显微镜进行非接触式的高度测量,由于目前的芯片载板一般为玻璃或石英材料,通过激光测高时,激光光路容易出现透过载板材质,导致测试数据不准确。


技术实现思路

1、本技术的目的在于克服现有技术的不足,本技术提供了一种带测高标记部的基板及基板对贴测高装置,通过在基板上设置测高标记部,避免激光直接透过基板材质,从而提高激光测距的准确性。

2、本技术提供了一种带测高标记部的基板,所述基板的顶面或所述基板的底面设置有若干个测高标记部;

3、所述若干个测高标记部沿圆周方向均匀排布在所述基板的边缘部分;

4、所述基板上任一侧边边缘部分设置有至少一个所述测本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带测高标记部的基板,其特征在于,所述基板的顶面或所述基板的底面设置有若干个测高标记部;

2.如权利要求1所述的带测高标记部的基板,其特征在于,所述测高标记部位于所述基板侧边的中部位置。

3.如权利要求1所述的带测高标记部的基板,其特征在于,所述测高标记部呈环形排布覆盖在所述基板的边缘部分。

4.如权利要求1所述的带测高标记部的基板,其特征在于,多个所述测高标记部等距排布在所述基板的侧边。

5.如权利要求1所述的带测高标记部的基板,其特征在于,所述测高标记部的厚度为h,所述h的取值范围为:h>10nm。

>6.如权利要求1所...

【技术特征摘要】

1.一种带测高标记部的基板,其特征在于,所述基板的顶面或所述基板的底面设置有若干个测高标记部;

2.如权利要求1所述的带测高标记部的基板,其特征在于,所述测高标记部位于所述基板侧边的中部位置。

3.如权利要求1所述的带测高标记部的基板,其特征在于,所述测高标记部呈环形排布覆盖在所述基板的边缘部分。

4.如权利要求1所述的带测高标记部的基板,其特征在于,多个所述测高标记部等距排布在所述基板的侧边。

5.如权利要求1所述的带测高标记部的基板,其特征在于,所述测高标记部的厚度为h,所述h的取值范围为:h>10nm。

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【专利技术属性】
技术研发人员:谭孟苹章金惠赵龙赵志学李丹伟
申请(专利权)人:佛山市国星光电股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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