【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术总体上涉及生产无水季铵碱的方法。更具体而言，本专利技术涉及通过氧化烯与叔胺的加成反应合成无水季铵碱以用于电子应用，诸如清洗、剥离或蚀刻制剂。
技术介绍
1、在电子工业中，水性季铵化合物诸如四甲基氢氧化铵(tmah)、氢氧化胆碱等在用于蚀刻、剥离、清洗过程的制剂中已被广泛使用以产生金属或半导体结构。水性制剂在干燥过程期间可造成水印(干痕)形成。基于溶剂的制剂已被报道和使用来减少水印，然而，这类制剂由于溶剂不相容性可为限制性的。不同于其应用限制在水溶液或特定的基于溶剂的溶液的基于水或基于溶剂的季铵碱，无水季铵碱可提供给使用者更多的关于其配方的选项。这类无水季铵碱可在基于水或基于溶剂的应用中配制。
2、鉴于现有技术状态，持续需要开发合成用于电子应用的无水季铵碱的方法。
技术实现思路
1、在详细解释本专利技术的方面之前，要理解本专利技术的应用并不局限于以下描述中阐述的组分或步骤或方法学的构造和布置的细节。本专利技术能够具有其它实施方案并且以各种方式实践或进行。此外，要理解本文...
【技术保护点】
1.合成无水季铵碱的方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述氧化烯选自环氧乙烷、环氧丙烷、环氧丁烷、烯丙基缩水甘油醚、环氧己烷、氧化苯乙烯、表氯醇、氧化环己烯和螺环氧羟吲哚。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述叔胺选自三甲胺、三乙胺、三丙胺、二甲基乙胺、二乙基甲胺、二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺、二甲基丙醇胺、二乙基乙醇胺和甲基乙基丙醇胺。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述反应在水性环境中进行。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述反应产生包括水和未反应胺的副产物。
6.根据权...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.合成无水季铵碱的方法，其包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其中所述氧化烯选自环氧乙烷、环氧丙烷、环氧丁烷、烯丙基缩水甘油醚、环氧己烷、氧化苯乙烯、表氯醇、氧化环己烯和螺环氧羟吲哚。
3.根据权利要求1所述的方法，其中所述叔胺选自三甲胺、三乙胺、三丙胺、二甲基乙胺、二乙基甲胺、二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺、二甲基丙醇胺、二乙基乙醇胺和甲基乙基丙醇胺。
4.根据权利要求1所述的方法，其中所述反应在水性环境中进行。
5.根据权利要求1所述的方法，其中所述反应产生包括水和未反应胺的副产物。
6.根据权利要求5所述的方法，其中所述反应产生少于约5重量％的作为副产物的水。
7.电子应用制剂，其包含权利要求1-6中任一项所述的无水季铵碱。
8.根据权利要求7所述的电子应用制剂，其还包含溶剂，所述溶剂包括异丙醇或环氧乙烷反应性溶剂。
9.根据权利要求7所述的电子应用制剂，其还包含水。
10.无水季铵碱组合物，其通过使氧化烯与具有式r1r2r3n的叔胺反应获得，其中r1、r2和r3是相同或不同的并且各自单独地选自c1-c10烷基、c1-c10羟烷基和c6-c12芳基。
11.根据权利要求10所述的无水季铵碱组合物，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：周晖，K·张，
申请(专利权)人：亨斯迈石油化学有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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