定位夹具以及使用定位夹具的玻璃基板的制造方法技术

本发明专利技术提供能够缩短向被涂布物喷出涂布液的嘴的高度调整工序以及水平位置调节工序的时间而缩短安装时间的定位夹具以及使用定位夹具的玻璃基板的制造方法。喷涂用的喷雾嘴(11)的定位夹具(30)在载置台(33)形成有与喷涂用的喷雾嘴(11)嵌合的槽(33c)。另外，定位夹具(30)具有基座(31)以及从基座(31)立起设置并供载置台(33)连接的托架(32A、32B)，在托架(32A、32B)具有作为调整载置台(33)的高度的高度调整机构的高度调整螺钉(44)以及高度调整螺钉固定台(32f)。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及定位夹具以及使用定位夹具的玻璃基板的制造方法。

技术介绍

1、以往，在将玻璃基板用作罩构件的情况下，有时在玻璃基板设置防眩膜。作为防眩膜的例子，已知有从二氧化硅前驱体形成的二氧化硅膜(参照专利文献1)。

2、作为使防眩膜附着在玻璃基板上的工序，在将防眩膜形成用的涂敷剂涂布到玻璃基板上之后，进行干燥(加热)。涂布该涂敷剂的方法优选为喷涂法，在喷涂中能够使用公知的双流体嘴、单流体嘴等嘴。

3、例如，在使用双流体嘴的情况下，喷雾压力越高则液滴越小，另外，液量越多则液滴越大，但为了调整液滴的粒径，需要调整嘴与玻璃基板上的涂布表面的上下方向的距离。在以往，在进行成膜工序的情况下，将作为被涂布物的玻璃基板的样品配置于成膜室(腔室)而安装嘴，并对嘴高度进行调整。另外，也进行嘴的水平方向的调整。

4、另外，需要根据作为被涂布物的玻璃基板的种类而变更嘴，但在变更嘴时在高度方向的确认工序中，进行嘴的临时安装，并通过目视观察来进行高度方向的偏差的确认，再次进行高度调整。并且，在调整了高度的状态下，进行嘴的正式安装并固定。另外，即本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种定位夹具，为喷涂用的喷雾嘴的定位夹具，

2.根据权利要求1所述的定位夹具，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的定位夹具，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的定位夹具，其特征在于，

5.根据权利要求3所述的定位夹具，其特征在于，

6.一种玻璃基板的制造方法，为被喷涂的玻璃基板的制造方法，

7.根据权利要求6所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，

【技术特征摘要】

1.一种定位夹具，为喷涂用的喷雾嘴的定位夹具，

2.根据权利要求1所述的定位夹具，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的定位夹具，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的定位夹具，其特征在于，

5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：横川充司，佐藤伸二，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：