具有抗振功能的重建装置制造方法及图纸

本公开描述一种具有抗振功能的重建装置，包括发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块，发生模块产生包括第一光束和第二光束的目标光束；目标光束经分光模块到达干涉物镜并在干涉物镜形成目标反射光束，分光模块解耦目标反射光束为与第一光束相匹配的第一反射光束和与第二光束相匹配的第二反射光束；数据处理模块配置为基于第一反射光束获取多个目标点的初始高度，基于第二反射光束获得多个目标点的高度误差，基于多个目标点的高度误差合成振动面，并基于振动面对多个目标点的角度变化进行补偿。由此，能够提高目标点的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及一种智能制造装备产业，具体涉及一种具有抗振功能的重建装置。

技术介绍

1、随着超精密加工技术的日益发展，超精密检测技术也显得愈发重要。光学测量法以其成本低、精度高的优点被广泛应用于光学测量领域。其中，基于干涉原理的光学测量系统具有高精度及高分辨率的优点，常用于物理量的精确测量。白光干涉仪是一种基于白光干涉测量技术的超精密测量设备，其测量精度和准确度受环境影响十分明显。一般而言，环境影响包括工业环境影响和自然环境影响两个方面，其中，工业环境影响指的是由于人和周围环境带来的振动，使地面产生低频的振动，进而传递给了干涉仪；自然环境影响指的是由于自然环境的变化，如空气流动、温度变化等导致干涉仪产生一定的振动。上述两种因环境影响带来的振动都属于环境振动。当存在环境振动时，基于白光干涉仪产生的白光干涉条纹易产生抖动，例如干涉条纹图像产生相互重叠、变形、修去、模糊或毛刺等情况，导致测量结果存在较大的误差；更甚者，若干涉图条纹波动的幅度很大将造成干涉条纹不能观测，无法进行测量。

2、现有技术中，通常采用机械隔振、同步相移干涉等技术降低环境震动对白光干本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有抗振功能的重建装置，其特征在于，包括发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块，

2.根据权利要求1所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

7.根据权利要求4所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

8.根据权利要求4所述的具有抗振功能的重...

【技术特征摘要】

1.一种具有抗振功能的重建装置，其特征在于，包括发生模块、分光模块、干涉物镜、以及数据处理模块，

2.根据权利要求1所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的具有抗振功能的重建装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的具有抗振功能的重建装置，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张和君，
申请(专利权)人：深圳市中图仪器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：