【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开涉及光固化性组合物，特别涉及适合于形成光固化层的用于喷墨自适应平坦化的光固化性组合物。
技术介绍
1、喷墨自适应平坦化(iap)是通过以下方式来平坦化基底表面(例如，包含电路的晶片)的工艺：在基底表面上喷射光固化性组合物的液滴，以及使平坦的覆盖层(superstrate)与所添加的液体直接接触以形成平坦的液体层。典型在紫外光曝光下固化所述平坦液体层，并且在去除覆盖层之后获得平坦的聚合物表面，使该表面经受后续处理步骤，例如烘烤、刻蚀和/或进一步的沉积步骤
2、需要改进的iap材料，从而导致在后续处理期间具有高耐蚀刻性和良好热稳定性的平坦光固化层。
技术实现思路
1、在一个实施方案中，光固化性组合物可包含光引发剂和聚合性材料，其中聚合性材料可包含具有式(1)或式(2)结构的第一聚合性单体：
2、
3、其中x是c1-c4-烷基或氧(o)；n是0或1；y1、y2是其中r3是h或甲基，其中y1和y2可以相同或不同并且每个苯环的y1和y2的量为1、2或3；r1...
【技术保护点】
1.一种光固化性组合物，包含聚合性材料和光引发剂，其中所述聚合性材料包含具有式(1)或式(2)结构的第一聚合性单体：
2.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述第一聚合性单体包括选自式(3)、(4)、(5)或(6)的结构：
3.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述第一聚合性单体包括选自式(7)、(8)、(9)或(10)的结构：
4.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述第一聚合性单体是选自以下结构的至少一种单体：
5.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述聚合性材料包含至少一种第二单体，所述至少...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种光固化性组合物，包含聚合性材料和光引发剂，其中所述聚合性材料包含具有式(1)或式(2)结构的第一聚合性单体：
2.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述第一聚合性单体包括选自式(3)、(4)、(5)或(6)的结构：
3.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述第一聚合性单体包括选自式(7)、(8)、(9)或(10)的结构：
4.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述第一聚合性单体是选自以下结构的至少一种单体：
5.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述聚合性材料包含至少一种第二单体，所述至少一种第二单体包括至少一种丙烯酸脂单体。
6.根据权利要求5所述的光固化性组合物，其中所述至少一种丙烯酸脂单体包括至少两种单官能丙烯酸酯单体。
7.根据权利要求5所述的光固化性组合物，其中所述至少一种丙烯酸酯单体包含至少一种单官能丙烯酸酯单体和至少一种多官能丙烯酸酯单体。
8.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述聚合性材料的量为至少80重量％，基于所述光固化性组合物的总重量。
9.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述光固化性组合物在23℃下的粘度不大于50mpa·s。
10.根据权利要求1所述的...
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