【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种侦测装置与侦测系统，且特别是涉及一种管路侦测装置与管路侦测系统。
技术介绍
1、在一些制作工艺(如，化学气相沉积制作工艺)中，容易产生许多副产物(如，粉尘(powder))，且副产物(如，粉尘)容易附着于管路的管壁上，进而影响抽气效率，甚至造成管路阻塞。然而，由于沉积在管路内部的副产物(如，粉尘)无法从外部直接判别，且目前针对管路的管壁上的副产物(如，粉尘)的侦测方式的准确度低，所以必须频繁进行拆管与清管来维持管路内部的干净状态，进而造成时间与人力的浪费。因此，如何准确且即时侦测管路的管壁上的副产物(如，粉尘)的沉积状态为持续努力的目标。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种管路侦测装置与管路侦测系统，其可准确且即时侦测管路的管壁上的副产物(如，粉尘)的沉积状态。
2、本专利技术提出一种管路侦测装置，包括电容器结构。电容器结构包括管路与导电板。管路的材料为导电材料。导电板固定在管路中。在导电板与管路之间具有间隙。导电板与管路彼此电性绝缘。
3、依照...
【技术保护点】
1.一种管路侦测装置，包括：
2.如权利要求1所述的管路侦测装置，其中所述导电板邻近于所述管路的管壁。
3.如权利要求2所述的管路侦测装置，其中
4.如权利要求1所述的管路侦测装置，还包括：
5.如权利要求1所述的管路侦测装置，其中所述管路的管壁具有线路通道。
6.如权利要求5所述的管路侦测装置，还包括：
7.如权利要求6所述的管路侦测装置，还包括：
8.一种管路侦测系统，包括：
9.如权利要求8所述的管路侦测系统，包括多个所述管路侦测装置，其中多个所述管路侦测装置包括多个...
【技术特征摘要】
1.一种管路侦测装置，包括：
2.如权利要求1所述的管路侦测装置，其中所述导电板邻近于所述管路的管壁。
3.如权利要求2所述的管路侦测装置，其中
4.如权利要求1所述的管路侦测装置，还包括：
5.如权利要求1所述的管路侦测装置，其中所述管路的管壁具有线路通道。
6.如权利要求5所述的管...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈昆鸿，吴嘉鸿，车行远，
申请(专利权)人：力晶积成电子制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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