直接接触式探针卡制造技术

本发明专利技术涉及一种直接接触式探针卡，该探针卡为双板探针卡，其中，包括：主ＰＣＢ，主ＰＣＢ为圆盘形状，在其中央部形成有四角形开口孔，开口孔的两侧面形成有ＦＰＣＢ接触用台；板，板为钢质的正方形构件，板连接于主ＰＣＢ的底面中央部；多个针块，多个针块的上端排列有多个探针，多个针块固设于板上面，突出形成于主ＰＣＢ上面；ＦＰＣＢ，ＦＰＣＢ的一端形成有探针接触用台，另一端形成有与主ＰＣＢ的ＦＰＣＢ接触用台对应的ＰＣＢ接触用台；ＦＰＣＢ块，ＦＰＣＢ块分别设置于各个针块的侧面，ＦＰＣＢ的探针接触用台粘着固定于ＦＰＣＢ块的上面；及挤压件，挤压件用于挤压ＦＰＣＢ的ＰＣＢ接触用台和主ＰＣＢ的ＦＰＣＢ接触用台。该直接接触式探针卡可以使结构简化，取消配线及焊接部位，以相对降低不良现象的发生率，缩短制作时间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种直接接触式探针卡(direct contact probe card),尤其是 涉及一种分别形成针块(Needle block)和形成有与针块的探针接触的FBCB 的柔性印刷电路板(FPCB)块，之后结合于另设的板上，并将板与印刷电 路板(PCB)结合的直接接触式探针卡。
技术介绍
探针卡用于确认半导体元件的优良与否的测试作业中。近来，半导体元 件的包装形式各种各样，因此，探针卡也根据要测试的半导体元件的包装形 态设计成各种形态。图1表示现有技术中的单板探针卡(Needle Probe Card) 10的概略平面 示意图。通常，探针卡10包括PCB基板或Al基板等探针固定基板12; 通过环氧树脂14固定于所述探针固定基板12上，并且其端部接触于测试台 的多个探针30;及，用于加强所述环氧树脂14的陶瓷加强环16。并且，图 1中虽然图示了圆形的探针固定基板12，但是，也可以是四方形等各种形状。在单板探针卡10上，以图1的上下方向为准，探针组设置于探针固定 基板12的两处，只能对一个产品进行测试。并且，为了提高测试效率，双 板探针卡是对上述单板探针卡进行改良而获得，可以同时对两个产品进行检 测。即，在双板探针卡上，将探针组配置于4个位置上， 一侧的两个位置上 的探针对一个产品进行测试，另一侧两个位置上的探针对另一个产品进行测 试。以下，参照图2对双板探针卡的结构进行更加详细的说明。图2是为了 检测巻带自动结合(TAB)巻带50而朝下设置的现有技术的双板探针卡10的部分截面示意图。如图2所示，双板探针卡10包括探针固定基板12和利 用环氧树脂14固定于所述探针固定基板12上的多个探针组32、 34、 36、 38。当纵向(图1中为上下方向)切割上述双板探针卡10时，所述探针固 定基板12上通过环氧树脂14在4个位置固设有探针组。以所述探针固定基 板12为中心，左侧(图2中)设置有第1组探针32、 34，右侧设置有第2 组探针36、 38。该第1组及第2组探针包括分别设置于探针固定基板12的 中心位置的内侧探针34、 36及其外侧的外侧探针32、 38。就所述探针32、 34、 36、 38而言，与附着于TAB巻带50样品的末端 的测试板接触的前端部(探针末端)称为第1末端32a、 34a、 36a、 38a，该 第1末端的相反一端称为第2末端32b、 34b、 36b、 38b。为了利用上述探针卡10检测TAB巻带50,首先将上述探针的第1末端 32a、 34a、 36a、 38a接触于附着于要测试的TAB巻带50的样品末端的测试 板上。之后，通过上述探针32、 34、 36、 38传达测试系统的电信号，检测 上述产品50的缺陷(short及open)。此时，利用设置于样品末端的内引脚(inner lead)侧的非接触式传感器， 即下部传感器42，对上述产品的样品的打开与否进行确认。未说明标记50a 是安装孔。.但是，上述现有探针卡的探针固定基板上部或下部有多个电线复杂连 接，其配线及焊接都非常困难，很容易出现不良现象，并且还存在着其制造 时间较长的问题。并且，在PCB上附着固定有陶瓷加强环，如果在探针或电线及焊接部 位出现不良现象，则很难进行维修。再者，PCB的硬度较弱，如果长时间使用则会出现弯曲现象，因此也存 在发生探针接触不良现象的问题点。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术的目的是提供一种直接接触式探针卡，分别形成针块和形成有与针块的探针接触的FBCB的FPCB块，之后结合于另设 的板上，并将板与PCB结合，从而使结构简化，取消配线及焊接部位，以 相对降低不良现象的发生率，縮短制作时间。本专利技术的另一 目的是提供一种直接接触式探针卡，在发生作业不良现象 时，从PCB分解板之后更换相应部分，使得其修理更加容易。本专利技术的又一目的是提供一种直接接触式探针卡，在PCB的底部设置 钢质的板，在板上形成针块和FPCB块，以事先防止弯曲现象的发生。为了达到上述目的，本专利技术提供一种直接接触式探针卡，所述探针卡为 双板探针卡，其特征在于，该探针卡包括主PCB，所述主PCB为圆盘形 状，在其中央部形成有四角形幵口孔，所述开口孔的两侧面形成有FPCB接 触用台；板，所述板为钢质的正方形构件，所述板连接于所述主PCB的底 面中央部；多个针块，所述多个针块的上端排列有多个探针，所述多个针块 固设于所述板上面，突出形成于所述主PCB上面；FPCB，所述FPCB的一 端形成有探针接触用台，另一端形成有与所述主PCB的FPCB接触用台对 应的PCB接触用台；FPCB块，所述FPCB块分别设置于各个所述针块的侧 面，所述FPCB的探针接触用台粘着固定于所述FPCB块的上面；及挤压件， 所述挤压件用于挤压所述FPCB的PCB接触用台和所述主PCB的FPCB接 触用台。在这里，所述板的上面形成有用于固定所述针块的多个销孔及第1螺栓 孔和用于固设所述FPCB块的多个固设槽及第2螺栓孔。 所述销孔的内部中心通过胶泥固定有导向环。所述板上还形成有FPCB排出孔，使得所述FPCB从所述主PCB的背 面排出。所述针块为正方形，其底面两端结合形成有插设于所述销孔的导向环的 固定销。所述针块的探针的形状是销状或叶片状。所述主PCB的上面和底面分别对应地形成有所述FPCB接触用台。所述FPCB粘着在位于所述板上最外廓的所述FPCB块时，所述PCB 接触用台与形成在所述主PCB上面的所述FPCB接触用台接触。所述FPCB粘着在位于所述板内侧的所述FPCB块时，所述PCB接触 用台与形成在所述主PCB底面的所述FPCB接触用台接触。所述挤压件包括硅橡胶，所述硅橡胶为四角形板状，通过粘着剂与所 述FPCB粘着固定；挤压板，所述挤压板为钢质的且为四角形板状，用于将 硅橡胶和所述FPCB挤压固定于所述主PCB上。所述直接接触式探针卡在发生电路变更时，与电路变更对应地形成内部 连线，在所述FPCB和所述主PCB之间还设置有辅助PCB，所述辅助PCB 的两面形成有与所述主PCB的FPCB接触用台和所述FPCB的PCB接触用 台对应的变更图案。如上结构的本专利技术的直接接触式探针卡，先分别形成针块和形成有与针 块的探针接触的FBCB的FPCB块，之后结合于另设的板上，并将板与PCB 结合，从而可以使结构简化，取消配线及焊接部位，以相对降低不良现象的 发生率，縮短制作时间。并且，在发生作业不良现象时，可以从PCB分解板之后更换相应部分， 使得其修理更加容易。再者，在PCB的底部设置钢质的板，在板上形成针块和FPCB块，从 而可以事先防止弯曲现象的发生。附图说明图1为现有技术中单板探针卡的概略平面示意图2为现有技术中单板探针卡的概略截面示意图3为本专利技术涉及的直接接触式探针卡的结构示意图4为本专利技术涉及的直接接触式探针卡的背面结构示意图5为本专利技术涉及的直接接触式探针卡的截面图6为本专利技术涉及的直接接触式探针卡中的针块的截面图7为本专利技术涉及的直接接触式探针卡中FPCB块的截面图8为本专利技术涉及的直接接触式探针卡的分解结构示意图9为本专利技术涉及的直接接触式探针卡上设置有辅助PCB的截面图10为本专利技术另一实施例涉及的直接接触式探针卡的结构示意图11为本专利技术另一实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直接接触式探针卡，所述探针卡为双板探针卡，其特征在于，该探针卡包括：　主印刷电路板，所述主印刷电路板为圆盘形状，在其中央部形成有四角形开口孔，所述开口孔的两侧面形成有柔性印刷电路板接触用台；　板，所述板为钢质的正方形构件，所 述板连接于所述主印刷电路板的底面中央部；　多个针块，所述多个针块的上端排列有多个探针，所述多个针块固设于所述板上面，突出形成于所述主印刷电路板上面；　柔性印刷电路板，所述柔性印刷电路板的一端形成有探针接触用台，另一端形成有与所述 主印刷电路板的柔性印刷电路板接触用台对应的印刷电路板接触用台；　柔性印刷电路板块，所述柔性印刷电路板块分别设置于各个所述针块的侧面，所述柔性印刷电路板的探针接触用台粘着固定于所述柔性印刷电路板块的上面；及　挤压件，所述挤压件用于 挤压所述柔性印刷电路板的印刷电路板接触用台和所述主印刷电路板的柔性印刷电路板接触用台。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李橡鲁，权泰暻，
申请(专利权)人：沋博普利斯金股份有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]