一种红外滤波器、光学设备及制造红外滤波器的方法技术

本披露公开了一种红外滤波器、光学设备及制造红外滤波器的方法。该红外滤波器包括：从底部向上依次布置的基底层、不定型硅层、低折射率层和光栅层，其中光栅层的两个不同衍射级次之间被设置成支持导模共振。本披露的红外滤波器，通过利用导模共振原理，能够在简单结构的基础上实现窄带宽的效果。另外，利用光栅层的两个不同衍射级次之间被设置成支持导模共振，本披露的红外滤波器能够使得两谐振峰的峰值相互作用影响，从而实现透过率较高的滤波效果。

【技术实现步骤摘要】

本披露一般涉及光学设备。更具体地，本披露涉及一种红外滤波器、光学设备及制造红外滤波器的方法。

技术介绍

1、红外滤波器是一种用于选择性传递或阻止红外光的光学元件。在红外光谱领域，红外滤波器起着重要的作用，广泛应用于红外成像、光学测量、光学通信、量子计算、无线通信、深空探测、射电天文等领域。

2、红外滤波器通常有两种，即透射型红外滤波器和反射型红外滤波器。当前，透射型红外滤波器大多是通过镀膜技术完成制作。由此，只能通过增加镀膜层数来获得较好的窄带宽效果，所以导致滤波器的结构与制作工艺流程均较为复杂。相对而言，利用导模共振的方案可以在简单结构的基础上实现窄带宽的效果，但是导模共振产生的谐振峰为一个反射率极高的值，并不适合直接用于透射滤波。

3、有鉴于此，亟需提供一种红外滤波器，能够利用导模共振原理，在简单结构的基础上实现窄带宽的效果，并且能够实现透过率较高的滤波效果。

技术实现思路

1、为了至少解决如上所提到的一个或多个技术问题，本披露在多个方面中提出了一种红外滤波器的方案。

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【技术保护点】

1.一种红外滤波器，包括：

2.根据权利要求1所述的红外滤波器，其中所述光栅层包括第一折射率材料和第二折射率材料，所述第一折射率材料的折射率高于所述第二折射率材料并且所述第一折射率材料和所述第二折射率材料在目标红外波段无消光系数，其中所述第一折射率材料的折射率大于3.5。

3.根据权利要求1所述的红外滤波器，其中所述低折射率层的厚度为2λ/ns，所述不定型硅层的厚度为6λ/4na，其中，λ为所述目标红外波段的波长，ns为所述低折射率层的折射率，na为所述不定型硅层的折射率。

4.根据权利要求3所述的红外滤波器，其中所述不定型硅层包括第一不定型硅层和第二...

【技术特征摘要】

1.一种红外滤波器，包括：

2.根据权利要求1所述的红外滤波器，其中所述光栅层包括第一折射率材料和第二折射率材料，所述第一折射率材料的折射率高于所述第二折射率材料并且所述第一折射率材料和所述第二折射率材料在目标红外波段无消光系数，其中所述第一折射率材料的折射率大于3.5。

3.根据权利要求1所述的红外滤波器，其中所述低折射率层的厚度为2λ/ns，所述不定型硅层的厚度为6λ/4na，其中，λ为所述目标红外波段的波长，ns为所述低折射率层的折射率，na为所述不定型硅层的折射率。

4.根据权利要求3所述的红外滤波器，其中所述不定型硅层包括第一不定型硅层和第二不定型硅层，所述第一不定型硅层的厚度为λ/2na并且所述第二不定型硅层的厚度为λna。

5.根据权利要求4所述的红外滤波器，其中所述低折射率层包括第一低...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹群杰，高一峰，沈健，
申请(专利权)人：舜宇奥来微纳光电信息技术上海有限公司，
类型：发明
国别省市：