【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及生产工艺。涉及但不限于一种工艺参数调节方法及装置、设备、存储介质以及程序产品。
技术介绍
1、在工业生产中，对于一些涉及到多参数、多步序的工件加工工艺，例如光伏磷扩或硼扩工艺，各步序温度、各步序通入各类气体的种类和数量、各步序持续时刻等工艺参数，均会对最终硅片扩散结果产生影响。为保障成品质量，需设定检测指标对加工后的工件进行抽查，并在发现异常时调节工艺参数，从而确保后续工件的合格率。
2、在相关领域中，对工艺参数的调节通常依赖于具备专业知识的工程师，这种方式不仅人工成本高昂，而且调节结果往往受限于工程师的过往经验，缺乏充分的理论和数据支持。此外，当需要调节多个参数时，无论是人工调节还是基于人工经验设计的专家系统，都可能面临调节效果不理想、效率低下等问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例提供的工艺参数调节方法及装置、设备、存储介质以及程序产品，能够根据工件的检测结果，和工件在加工过程中对应工艺设备所采用的工艺参数，对工艺设备的工艺参数进行调节，提高工艺设...
【技术保护点】
1.一种工艺参数调节方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取用于评估待测工件质量情况的检测数据，以及所述待测工件的第一标识信息之后，所述方法还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设条件包括所述偏差数据处于预设的偏差阈值区间；所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一标识信息包括所述待测工件对应的目标工艺设备信息和获得所述检测数据的目标检测时刻，所述第二标识信息包括所述待测工件对应的所述目标工艺设备信息和所述待测工件在加工过程中的目标加工时刻，...
【技术特征摘要】
1.一种工艺参数调节方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述获取用于评估待测工件质量情况的检测数据，以及所述待测工件的第一标识信息之后，所述方法还包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设条件包括所述偏差数据处于预设的偏差阈值区间；所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一标识信息包括所述待测工件对应的目标工艺设备信息和获得所述检测数据的目标检测时刻，所述第二标识信息包括所述待测工件对应的所述目标工艺设备信息和所述待测工件在加工过程中的目标加工时刻，所述目标加工时刻为所述目标检测时刻之前预设的时间范围内的时刻。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设的参数调节模型通过以下方法进行预先设置：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设的参数调节公式是基于与所述待测工件的相同类型的工件在加工过程中的多个工艺参数作为输入变量、所述待测工件的相同类型的工件的检测数据作为输出变量以及多个预设参数构建的；
7.根据权利要求1-6任一所述的方法，其特征在于，所述将所述多个工艺参数输入预设的参数调节模型，获取所述目标工艺设备在加工所述待测工件后的目标工艺参数，包括：
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述将第一工艺参数作为求解对象，将所述多个工艺参数...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：无锡先导智能装备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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