一种重掺硅料染色分拣的方法技术

技术编号:41971256 阅读:21 留言:0更新日期:2024-07-10 16:51
本发明专利技术提供了一种重掺硅料染色分拣的方法,包括以下步骤:S1:将待分拣的硅料装入耐高温容器中,然后放入加热装置中并进行抽真空处理;S2:通入氩气和氧气至所述步骤S1的加热装置中,随后通过加热装置加热步骤S1中装入耐高温容器的待分拣的硅料,升温至100‑300℃,并进行保温;S3:对所述步骤S2随炉冷却后的硅料进行分拣,分拣出所述硅料中的蓝黑色硅料和淡褐色硅料,从而得到合格硅料;其中,P型重掺硅料染为蓝黑色,N型重掺硅料为淡褐色,而轻掺杂的硅料颜色无变化。通过本发明专利技术一种重掺硅料染色分拣的方法能够有效对硅料内的重掺硅料进行染色分拣,且本发明专利技术对环境友好,成本较低,适合大规模工业化应用,具备较高的商业化价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅料加工检测领域,具体而言,涉及一种重掺硅料染色分拣的方法


技术介绍

1、随着集成电路和光伏产业的发展,对硅原料的需求不断增加,对硅片的质量也有更高要求。在处理和回收碎硅料时,除了清除石子、金属和纤维等杂质外,还需要解决混有高浓度p型和n型重掺料的碎硅料问题。目前的分拣方法通常使用仪器,但这些仪器成本高、耗时长、工效差,不适合大批量的碎硅料回收利用。因此,亟需一种更经济高效的分拣方法来解决这一问题。

2、公开号为cn101021480a的中国专利公开了一种用于检测分选废硅料的显色方法,该方法采用混合酸对硅料进行浸泡后使重掺硅料染色,从而实现重掺硅料分拣。公开号为cn104624512a的中国专利公开了一种p型、n型重掺硅料染色分拣的方法,其同样需要先配置腐蚀液,取55%浓度氢氟酸11-13、70%浓度硝酸950-1050、85%浓度磷酸9.5-10.5,随后通过浸泡处理后对p型、n型重掺硅料进行染色分拣。上述专利的操作对环境的友好度较差,且分拣的成本高,需要使用氢氟酸、硝酸等强酸且工艺复杂,工业化大规模使用的话后期的处理也比较困本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤S1中,所述硅料为半导体或光伏用碎硅料。

3.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤S1中,所述耐高温容器为坩埚,所述加热装置为真空炉。

4.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤S2中,所述加热装置加热需保持所述加热装置中氧气浓度小于10%。

5.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤S2中,所述升温的速度为1-5℃

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【技术特征摘要】

1.一种重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤s1中,所述硅料为半导体或光伏用碎硅料。

3.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤s1中,所述耐高温容器为坩埚,所述加热装置为真空炉。

4.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤s2中,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:雷琦胡动力章金兵
申请(专利权)人:浙大宁波理工学院
类型:发明
国别省市:

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