【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅料加工检测领域,具体而言,涉及一种重掺硅料染色分拣的方法。
技术介绍
1、随着集成电路和光伏产业的发展,对硅原料的需求不断增加,对硅片的质量也有更高要求。在处理和回收碎硅料时,除了清除石子、金属和纤维等杂质外,还需要解决混有高浓度p型和n型重掺料的碎硅料问题。目前的分拣方法通常使用仪器,但这些仪器成本高、耗时长、工效差,不适合大批量的碎硅料回收利用。因此,亟需一种更经济高效的分拣方法来解决这一问题。
2、公开号为cn101021480a的中国专利公开了一种用于检测分选废硅料的显色方法,该方法采用混合酸对硅料进行浸泡后使重掺硅料染色,从而实现重掺硅料分拣。公开号为cn104624512a的中国专利公开了一种p型、n型重掺硅料染色分拣的方法,其同样需要先配置腐蚀液,取55%浓度氢氟酸11-13、70%浓度硝酸950-1050、85%浓度磷酸9.5-10.5,随后通过浸泡处理后对p型、n型重掺硅料进行染色分拣。上述专利的操作对环境的友好度较差,且分拣的成本高,需要使用氢氟酸、硝酸等强酸且工艺复杂,工业化大规模使用的
...【技术保护点】
1.一种重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤S1中,所述硅料为半导体或光伏用碎硅料。
3.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤S1中,所述耐高温容器为坩埚,所述加热装置为真空炉。
4.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤S2中,所述加热装置加热需保持所述加热装置中氧气浓度小于10%。
5.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤S2中,所述升温的速度为1-5℃
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【技术特征摘要】
1.一种重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤s1中,所述硅料为半导体或光伏用碎硅料。
3.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤s1中,所述耐高温容器为坩埚,所述加热装置为真空炉。
4.根据权利要求1所述的重掺硅料染色分拣的方法,其特征在于:所述步骤s2中,所...
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