【技术实现步骤摘要】
在本专利技术涉及精密运动平台,尤其涉及一种精密运动平台的精度研究装置。
技术介绍
1、精密线性平台具有体积小、质量强、精度高等特点,被广泛应用于航空航天、芯片制造、超精密加工、高能光束控制、激光加工等高端制造领域。在精密线性平台的使用过程中,最为重要的是精密运动平台的运动精度。保证精密线性平台的运动精度,可实现加工精度的提升。在精密线性平台的架构中,滚珠丝杠作为传动转化的关键部件,丝杠实际运动量对精密线性平台运动距离的输出具有直接影响,关系到精密线性平台的精度,因此对丝杠的传动研究具有重要意义。
2、专利号为cn116678281a提供了一种精密运动平台的精度研究装置,包括精密运动平台,还包括平台位置粗读刻度、涡轮蜗杆结构以及分度盘,其中平台位置粗读刻度用于实现台面的0.05mm精度的位移粗读数。蜗杆两端分别与两个支撑板转动连接,涡轮与滚珠丝杠的丝杠一端固定轴连接。分度盘与蜗杆的一端同轴线固定连接,其中一个支撑板上端设有用于与分度盘相配合而指示分度盘上刻度的指针,用于指示台面的微米级位移精读数。巧妙的结合了游标卡尺、螺旋测微
...【技术保护点】
1.一种精密运动平台的精度研究装置,其特征在于,包括台座和试验机构;
2.根据权利要求1所述的一种精密运动平台的精度研究装置,其特征在于,所述丝杠的两端与台座的内部转动连接,所述移台的底部与所述丝杠螺纹连接,所述锥杆与丝杠位于同一水平,且锥杆与丝杠相互适配。
3.根据权利要求1所述的一种精密运动平台的精度研究装置,其特征在于,两个所述第一旋钮的底端贯穿两个所述第一锥轮的内部且延伸至第一键杆的表面,两个所述第二旋钮的底端贯穿两个所述第二锥轮的内部且延伸至第二键杆的外壁。
4.根据权利要求1所述的一种精密运动平台的精度研究装置,其特征在
...【技术特征摘要】
1.一种精密运动平台的精度研究装置,其特征在于,包括台座和试验机构;
2.根据权利要求1所述的一种精密运动平台的精度研究装置,其特征在于,所述丝杠的两端与台座的内部转动连接,所述移台的底部与所述丝杠螺纹连接,所述锥杆与丝杠位于同一水平,且锥杆与丝杠相互适配。
3.根据权利要求1所述的一种精密运动平台的精度研究装置,其特征在于,两个所述第一旋钮的底端贯穿两个所述第一锥轮的内部且延伸至第一键杆的表面,两个所述第二旋钮的底端贯穿两个所述第二锥轮的内部且延伸至第二键杆的外壁。
4.根据权利要求1所述的一种精密运动平台的精度研究装置,其特征在于,还包括检测机构,所述检测机构包括固设于台座上表面的安装框,所述安装框的内部转动连接有螺杆,所述螺杆的外壁螺纹连接有升降架,所述升降架的外壁固设有安装盒,所述升降架的外壁且位于安装盒的一侧通过卷簧转动连接有定位环,所述定位环的内部安装有百分表,所述安装盒的内部通过卷簧转动连接有齿轮,所述齿轮的外壁分别啮合连接有触发齿条与分离齿条,所述触发齿条的内部滑动连接有升降杆,所述升降杆的底部转动连接有触发导轮,所述触发齿条的外壁螺纹连接有调节旋钮,所述分离齿条的外端转动连接有分离导轮,所述升降架的外壁且位...
【专利技术属性】
技术研发人员:闫业棒,周森森,周云春,刘云辉,魏光亮,盛宪梁,王瑞锦,刘文远,
申请(专利权)人:山东泰格尔数控机床附件有限公司,
类型:发明
国别省市:
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