各向异性导电性片、电气检查装置及电气检查方法制造方法及图纸

各向异性导电性片具有：绝缘层，其具有弹性体层和在所述弹性体层的一个面上相互分离地配置的多个第一耐热性树脂层；多个贯通孔，其配置于所述绝缘层；多个导电部，其配置于所述多个贯通孔的各个内壁面；以及多个第一导电层，其配置于所述多个第一耐热性树脂层的各个表面，并与所述导电部连接。多个贯通孔配置于与所述多个第一耐热性树脂层分别对应的位置。在绝缘层的俯视图中，所述第一导电层比所述第一耐热性树脂层的外缘更靠内侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种各向异性导电性片、电气检查装置及电气检查方法。

技术介绍

1、搭载于电子制品的印刷配线板等半导体器件通常供于电气检查。电气检查通常通过如下方式来进行：使电气检查装置的(具有电极的)基板与半导体器件等成为检查对象物的端子电接触，读取向检查对象物的端子间施加规定电压时的电流。而且，为了可靠地进行电气检查装置的基板的电极与检查对象物的端子的电接触，在电气检查装置的基板与检查对象物之间配置各向异性导电性片。

2、各向异性导电性片是在厚度方向上具有导电性、在面方向上具有绝缘性的片，用作电气检查中的探针(接触件)。为了可靠地进行电气检查装置的基板与检查对象物之间的电连接，向这样的各向异性导电性片施加压入载荷来使用。因此，要求各向异性导电性片在厚度方向上容易弹性变形。

3、作为这样的各向异性导电片，研究了各种各向异性导电片(参照专利文献1)。

4、图1是表示专利文献1的各向异性导电性片10的示意图。各向异性导电性片10具有：绝缘层11，其具有弹性体层11a和配置在所述弹性体层11a的一个面上的多个第一耐热性树脂层11本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种各向异性导电性片，具有：

2.根据权利要求1所述的各向异性导电性片，其中，

3.根据权利要求1所述的各向异性导电性片，其中，

4.根据权利要求1所述的各向异性导电性片，其中，

5.根据权利要求1所述的各向异性导电性片，其中，

6.根据权利要求1所述的各向异性导电性片，

7.一种电气检查装置，具有：

8.一种电气检查方法，具有如下工序：

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种各向异性导电性片，具有：

2.根据权利要求1所述的各向异性导电性片，其中，

3.根据权利要求1所述的各向异性导电性片，其中，

4.根据权利要求1所述的各向异性导电性片，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：西浦克典，山田大典，伊东祐一，堀真雄，
申请(专利权)人：三井化学株式会社，
类型：发明
国别省市：