【技术实现步骤摘要】
本技术涉及捕集器设备,具体为一种用于蒸汽收集的蒸汽过滤装置。
技术介绍
1、在parylene镀膜过程中,一部分材料沉积在了工件的表面,另一部分通过管道进入真空泵。这样就会使真空泵油很快变差,影响工作效能,严重的会损坏真空泵。频繁换油又会增加成本。所以在目前的市场上所使用的设备中非常的不理想,需要将其改进与更换。
2、如中国专利cn205182440u中所公开提出的一种parylene蒸汽过滤捕集器,通过在使用时由于冷冻头的温度比较低,由于铜丝导热很快,冷冻头的低温会传导给铜丝,使铜丝达到-90℃,parylene蒸汽的温度很高,同时伴有很多杂质,所以将parylene蒸汽从本装置的蒸汽入口处进入,经过导热丝充分的降温之后,很多杂质会快速附在导热丝上的网状结构,同时有些杂质还会掉入到残渣收集处上,掉入到残渣收集处的杂质可以通过清洁口将其清理干净,蒸汽再经过蒸汽出口处流出,这样流出的parylene蒸汽就是比较干净的蒸汽,不会对真空泵油造成影响。
3、但是在使用时由于蒸汽内部通常会混合有杂质,从而较容易使收集管内部
...【技术保护点】
1.一种用于蒸汽收集的蒸汽过滤装置,包括冷凝室(1),其特征在于:所述冷凝室(1)顶部设置有过滤结构,所述过滤结构底部设置有冷凝结构,所述冷凝结构底部设置有清洁结构;
2.根据权利要求1所述的一种用于蒸汽收集的蒸汽过滤装置,其特征在于:所述收集单元包括有底板(303),所述底板(303)顶面滑动连接有收集盒(304),所述收集盒(304)外表面右端中部固定安装有连接块(305),所述连接块(305)远离收集盒(304)一侧固定连接有密封板(307),所述密封板(307)远离连接块(305)一侧中部固定安装有把手(306)。
3.根据权利要求2所
...【技术特征摘要】
1.一种用于蒸汽收集的蒸汽过滤装置,包括冷凝室(1),其特征在于:所述冷凝室(1)顶部设置有过滤结构,所述过滤结构底部设置有冷凝结构,所述冷凝结构底部设置有清洁结构;
2.根据权利要求1所述的一种用于蒸汽收集的蒸汽过滤装置,其特征在于:所述收集单元包括有底板(303),所述底板(303)顶面滑动连接有收集盒(304),所述收集盒(304)外表面右端中部固定安装有连接块(305),所述连接块(305)远离收集盒(304)一侧固定连接有密封板(307),所述密封板(307)远离连接块(305)一侧中部固定安装有把手(306)。
3.根据权利要求2所述的一种用于蒸汽收集的蒸汽过滤装置,其特征在于:所述进气管(301)外表面与冷凝室(1)外表面左端中部底端开设圆孔内部固定连接,所述密封板(307)与冷凝室(1)右侧中部底端开设通孔内部抵接,所述刷子(311)顶面与过滤板(312)底面滑动连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于蒸汽收集的蒸汽过滤装置,其特征在于:所述冷凝结构包括有进水管(201),所述进水管(2...
【专利技术属性】
技术研发人员:熊跃全,
申请(专利权)人:帕尔弗无锡新能源装备科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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