毛刷安装治具制造技术

本技术提供了一种毛刷安装治具，包括：第一背板和第二背板，所述第一背板与支撑杆滑动连接，所述第二背板与支撑杆固定连接；第二背板与一毛刷桶固定连接；第一背板与一顶杆固定连接，所述顶杆用于安装毛刷套管，并被第一背板沿着支撑杆的滑动方向带动毛刷推入毛刷桶内。采用上述装置来安装毛刷，全部采用机械方式完成的，减少了手工操作带来的污染，而且通过支撑杆和顶杆对毛刷的位置和移动方向做精准定位，提高了安装效率。并且因为有隔离条的间隔可以减少毛刷与套筒的直接摩擦很容易的将毛刷装好，这样比较节省时间，且不易受到颗粒和金属污染。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体设备领域，尤其涉及一种毛刷安装治具。

技术介绍

1、毛刷是半导体设备中常见的一种用于清洗晶圆的零件。现有的毛刷安装是由人戴手套直接拿着毛刷装到毛刷套管里面或者人戴手套直接拿着毛刷在去离子水里面进行安装，不管哪种都不能避免手接触毛刷造成金属颗粒污染，且安装时由于毛刷与套管间摩擦导致非常难装和费时。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题是，提供一种毛刷安装治具，能够提高安装效率，避免污染。

2、为了解决上述问题，本技术提供了一种毛刷安装治具，包括：第一背板和第二背板，所述第一背板与支撑杆滑动连接，所述第二背板与支撑杆固定连接；第二背板与一毛刷桶固定连接；第一背板与一顶杆固定连接，所述顶杆用于安装毛刷套管，并被第一背板沿着支撑杆的滑动方向带动毛刷推入毛刷桶内。

3、可选的，第一背板和/或第二背板包括握把。

4、可选的，所述支撑杆为4个。

5、可选的，所述毛刷桶内还包括多个隔离条，用于隔离毛刷之间的刷毛，避免沾污，所述第二背板上设置多个用于插入隔离本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种毛刷安装治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的毛刷安装治具，其特征在于，第一背板和/或第二背板包括握把。

3.根据权利要求1所述的毛刷安装治具，其特征在于，所述支撑杆为4个。

4.根据权利要求1所述的毛刷安装治具，其特征在于，所述毛刷桶内还包括多个隔离条，用于隔离毛刷之间的刷毛，避免沾污，所述第二背板上设置多个用于插入隔离条的通孔。

5.根据权利要求4所述的毛刷安装治具，其特征在于，所述毛刷桶的开口出对应设置固定隔离条的接口，用于对隔离条远离述第二背板的一端进行固定。

6.根据权利要求4所述的毛刷安装治具，其...

【技术特征摘要】

1.一种毛刷安装治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的毛刷安装治具，其特征在于，第一背板和/或第二背板包括握把。

3.根据权利要求1所述的毛刷安装治具，其特征在于，所述支撑杆为4个。

4.根据权利要求1所述的毛刷安装治具，其特征在于，所述毛刷桶内还包括多个隔离条，用于隔离毛刷之间的刷毛，避免沾污，所述第二背...

【专利技术属性】
技术研发人员：张晨膑，叶斐，黎敬，袁钰，陈猛，
申请(专利权)人：上海超硅半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：