碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂及其制备方法，该制备方法包括称取氧化铝粉、碳化硅晶须、分散剂和水混合球磨，得到浆料，经喷雾造粒和干燥，得复合粉体，将复合粉体、水和粘结剂搅拌成泥料，将泥料进行二次混炼，得到打印泥料，将打印泥料进行DIW‑3D打印，得到一半陶瓷手臂湿坯，然后在湿坯上打印具有气道形状的型芯，再继续打印另一半陶瓷手臂，得到陶瓷手臂湿坯，经烘烤、烧结、精细加工，即得陶瓷手臂。本发明专利技术制备的陶瓷手臂具有优异的机械性能、防静电性能、导热性能和耐腐蚀性能，可适应多种环境且使用寿命长，制备方法简单且成本低。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及陶瓷材料，具体涉及一种碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂及其制备方法。

技术介绍

1、目前电子信息产业在世界的贸易规模已达数万亿美元，成为世界第一大产业，而半导体集成电路即是该产业的核心产品。氧化铝陶瓷手臂在集成电路制造过程中是晶圆的“搬运工”，几乎参与芯片制造的全流程，在光刻机、cvd、pvd、匀胶显影、清洗、检测等装备中都少不了精密的陶瓷手臂。

2、一方面，传统陶瓷手臂的制备方法主要是使用数控机床对陶瓷板进行精加工，随后依靠陶瓷板组合以形成带有气道的陶瓷手臂，陶瓷板之间通常使用粘结剂进行固定，但粘结剂的抗腐蚀和耐高温性能较差，导致陶瓷手臂在苛刻环境中的服役寿命较短。为了提高陶瓷手臂的使用寿命，中国专利文献cn115710119b和cn115849880b分别公布了一种使用水基注射成型和热压铸成型制备陶瓷手臂的方法，避免了粘结剂的使用，使得陶瓷手臂能在更苛刻的环境服役更长的时间。然而，注射成型虽然可以实现近净尺寸成型，但陶瓷手臂属于定制件，注射成型需根据不同形状的陶瓷手臂制作金属模具，成本相对较高；而热压铸成坯体中含有低熔点有机物，使本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，所述DIW-3D打印的工艺条件为：喷嘴直径为0.8mm～2mm，打印速度为10mm/s～30mm/s，层厚为0.2mm～1mm，层与层之间打印路径相互垂直。

3.根据权利要求1所述的碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，步骤(6)中，所述聚乙二醇为聚乙二醇600和/或聚乙二醇800，所述DIW-3D打印的工艺条件为：喷嘴直径为0.2mm～0.5mm，打印速度为10mm/s～30mm/s，...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，所述diw-3d打印的工艺条件为：喷嘴直径为0.8mm～2mm，打印速度为10mm/s～30mm/s，层厚为0.2mm～1mm，层与层之间打印路径相互垂直。

3.根据权利要求1所述的碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，步骤(6)中，所述聚乙二醇为聚乙二醇600和/或聚乙二醇800，所述diw-3d打印的工艺条件为：喷嘴直径为0.2mm～0.5mm，打印速度为10mm/s～30mm/s，层厚为0.1mm～0.2mm，层与层之间打印路径相互垂直。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，步骤(5)中，所述打印泥料先装入第一料筒中，连接到3d打印机上，启动电源，导入手臂半模型，再进行diw3d打印；步骤(6)中，所述聚乙二醇先熔融装入第二料筒中，熔融温度为30℃～70℃，冷却固化后连接到3d打印机上，启动电源，导入气道模型，再进行diw-3d打印。

5.根据权利要求1～3中任一项所述的碳化硅晶须增韧氧化铝陶瓷手臂的制备方法，其特征在于，步骤(1)中，球磨介质为氧化锆球，氧化铝粉与碳化硅晶须的质量∶水的质量∶...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文彬，
申请(专利权)人：湖南圣瓷科技有限公司，
类型：发明
国别省市：