【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空电镀领域，具体而言，涉及一种用于真空电镀供电电源的输出启动方法。
技术介绍
1、现代的镀膜技术不断发展，目前较为流行的方式是真空电镀。相比于传统的化学电镀，真空电镀具有高效节能、清洁无污染的优点，而且其薄膜均匀性好、附着力强，因而广备推崇。其中，真空电镀电源在电镀过程中起着关键的作用。真空电镀电源分为中频磁控溅射电源、弧电源和偏压电源等。这些电源的输出直接作用到真空镀膜设备的腔体内，所以其输出的稳定性直接关系到镀膜质量的好坏。
2、在中频磁控溅射电源中，高频电能通过电源输出，被传输到溅射系统中的靶材上。电能在靶材附近的气体中产生电弧放电，导致局部放电区域的气体离子化，产生离子与电子。电子冲击靶材使得靶材离子化并从靶材表面逸出，最终沉积在待镀件上，形成薄膜。
3、在气体放电状态未形成前，需要持续在靶材上施加高压高频交流电压，以实现气体离子化，这被称之为点火过程。当施加的交流电压的幅值较低，或靶材之间的距离较大时，气体因为无法离子化，呈现较高的阻抗特性，镀膜过程会无法进行。为确保气体离子化，一般方法...
【技术保护点】
1.一种用于电源的输出控制方法，其特征在于，所述电源包括功率变换单元以及电流采样单元，所述输出控制方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的输出控制方法，其特征在于，在所述输出电流低于设定阈值时，控制所述功率变换单元进入恒流输出工作模式、恒压输出工作模式或者恒功率输出工作模式。
3.根据权利要求1所述的输出控制方法，其特征在于，所述电源进入第二点火阶段后，若所述功率变换单元的输出电压增加至第二电压预定值时，所述功率变换单元的所述输出电流仍未增大到所述预定电流值，则关闭所述功率变换单元的输出或者等待一设定时间后重新启动点火，其中，所述第二电压预...
【技术特征摘要】
1.一种用于电源的输出控制方法，其特征在于，所述电源包括功率变换单元以及电流采样单元，所述输出控制方法包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的输出控制方法，其特征在于，在所述输出电流低于设定阈值时，控制所述功率变换单元进入恒流输出工作模式、恒压输出工作模式或者恒功率输出工作模式。
3.根据权利要求1所述的输出控制方法，其特征在于，所述电源进入第二点火...
【专利技术属性】
技术研发人员：钟德彬，王绍祥，徐鸿鑫，杨锐俊，
申请(专利权)人：广州金升阳科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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