油缸液压站和单晶炉系统技术方案

本技术涉及单晶装备技术领域，提供一种油缸液压站和单晶炉系统，包括：油箱，连接有供油管路和回油管路，供油管路连接有相互并联的第一供油支路和第二供油支路，回油管路连接有相互并联的第一回油支路和第二回油支路，供油管路上设置有液压泵；主换向阀一侧连接于第一供油支路和第一回油支路，另一侧连接于主室油缸；副换向阀一侧连接于第二供油支路和第二回油支路，另一侧连接于副室油缸；主换向阀和副换向阀具有保压状态。油缸液压站通过控制液压泵的输出功率和主换向阀、副换向阀的切换，可以实现对单晶炉的主室和副室进行稳定、可靠的升降控制。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶装备，尤其涉及一种油缸液压站和单晶炉系统。

技术介绍

1、单晶炉是晶体生长设备领域中的核心设备之一，其主要功能是生长单晶体材料，广泛应用于半导体产业和光伏产业等领域。在这些产业中，单晶炉的性能和质量直接影响到产品的性能和可靠性。

2、单晶炉通常由主室和副室两部分组成，主室是用于生长晶体材料的空间，而副室则用于放置辅助设备，如支架、坩埚等。在拉晶工艺过程中，需要实现主室和副室的升降动作，以适应不同生长条件和操作需求。

3、由于单晶炉的工作环境较为恶劣，温度和压力等参数变化较大，现有技术中缺少能够稳定、可靠操控单晶炉的主室和副室执行升降动作的方案。

技术实现思路

1、本技术提供一种油缸液压站和单晶炉系统，用以解决现有技术中难以稳定、可靠操控单晶炉的主室和副室执行升降动作的缺陷，实现了一种能够稳定、可靠操控单晶炉的主室和副室执行升降动作的液压装置方案。

2、本技术提供一种油缸液压站，包括：油箱，连接有供油管路和回油管路，所述供油管路连接有相互并联的第一供油支路和第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种油缸液压站，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，两条所述主控制油路之间设置有主平衡阀(33)；

3.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，两条所述主控制油路上分别设置有调速阀(35)；

4.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，所述第一供油支路(23)和所述第一回油支路(25)之间连接有减速流路，和/或，所述第二供油支路(24)和所述第二回油支路(26)之间连接有所述减速流路；

5.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，所述第一供油支路(23)和所述第一回油支路(25)之间连接有泄压...

【技术特征摘要】

1.一种油缸液压站，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，两条所述主控制油路之间设置有主平衡阀(33)；

3.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，两条所述主控制油路上分别设置有调速阀(35)；

4.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，所述第一供油支路(23)和所述第一回油支路(25)之间连接有减速流路，和/或，所述第二供油支路(24)和所述第二回油支路(26)之间连接有所述减速流路；

5.根据权利要求1所述的油缸液压站，其特征在于，所述第一供油支路(23)和所述第一回油支路(25)之间连接有泄压流路，和/或，所述第二供油支路(24)和所述第二回油支路(26)之间连接有所述泄压流路；

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【专利技术属性】
技术研发人员：姜浩博，
申请(专利权)人：株洲三一硅能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：