柔性加热夹套制造技术

本技术公开了一种柔性加热夹套，包括加热板，加热板上均匀设置有加热丝，所述加热丝上设有TC温度传感器，一端串联有过热保护器，另一端串联有一段热熔断线，TC温度传感器连接有温控表，所述温控表控制加热丝的电源开关，当超过设定温度时，温控表会切断电源，防止过热烧坏加热夹套，加热丝一端串联有过热保护器，当温度过高TC温度传感器无法正常工作时，过热保护器会自动断开电源；加热丝另一端串联有热熔断线，当温度过高TC温度传感器和无法正常工作时，热熔断线会自动熔断，进一步保护加热夹套，通过三重防过热保护，极大的提高了加热夹套的稳定性，且结构简单，操作方便，可广泛的运用于半导体加工领域。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工领域，具体涉及一种柔性加热夹套。

技术介绍

1、在半导体加工过程中，有多种气体和液体需要通过管道有一个加工腔室输送到另一个加工腔室，为避免管道运输过程中气体遇冷发生冷凝，液体遇冷发生凝固阻塞，需要对输送的管道进行加热，以保持温度恒定，现有技术是在输送管道外包裹一层加热夹套，如专利号为cn 107676565 a的中国专利，专利技术名称为：一种半导体工艺管道加热装置，包括的柔性外皮、柔性保温层、发热层和柔性绝缘内皮，发热层提供热量，柔性外皮和柔性绝缘内皮起到包裹管道的目的，在发热层设置过温保护器件起到保护作用。采用该专利技术的结构，在高温且频繁工作下，过温保护器件特别容易失灵，导致加热夹套因过热而烧坏。

2、由于输送管道直径不同，输送的物质不同，要求的加热温度不同，管道走向也不同，因此加热夹套的加工是根据实地测量数据手工定制的，制作周期长，属于非标品，因此加热夹套的稳定性不高，对半导体工厂的影响非常大，特别是输送管道转角处包裹的加热夹套制作复杂，周期更长，加热夹套稳定性不高影响会更大。

3、因此加热夹套稳定性不高，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性加热夹套，包括外包层(1)、保温层(2)和绝缘内层(3)，其特征在于：所述绝缘内层(3)与保温层(2)间设置有加热板(4)，所述加热板(4)上均匀排布有加热丝(5)，所述加热丝(5)上设有TC温度传感器(6)，加热丝(5)的一端串联有过热保护器(7)，另一端串联有一段热熔断线(8)，所述TC温度传感器(6)连接有温控表(9)，所述温控表(9)内设置有控制加热丝(5)的电源开关，所述温控表(9)内还设置有信号报警装置。

2.如权利要求1所述的柔性加热夹套，其特征在于：所述加热板(4)为硅胶加热板。

3.如权利要求1所述的柔性加热夹套，其特征在于：所述外包...

【技术特征摘要】

1.一种柔性加热夹套，包括外包层(1)、保温层(2)和绝缘内层(3)，其特征在于：所述绝缘内层(3)与保温层(2)间设置有加热板(4)，所述加热板(4)上均匀排布有加热丝(5)，所述加热丝(5)上设有tc温度传感器(6)，加热丝(5)的一端串联有过热保护器(7)，另一端串联有一段热熔断线(8)，所述tc温度传感器(6)连接有温控表(9)，所述温控表(9)内设置有控制加热丝(5)的电源开关，所述温...

【专利技术属性】
技术研发人员：张涛，张雨，
申请(专利权)人：黄山致恒设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：